重庆芯联微电子有限公司陈彦铨获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利气体输送管路以及半导体制造设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223635647U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423195384.5，技术领域涉及：F16L27/107；该实用新型气体输送管路以及半导体制造设备是由陈彦铨;陈颖儒设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体输送管路以及半导体制造设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种气体输送管路以及半导体制造设备，气体输送管路包括：外管和内管；外管套设于内管的外部；内管具有波纹管段、第一直管段和第二直管段，波纹管段的两端分别与第一直管段和第二直管段连接，第一直管段和第二直管段分别用于与快拆接头可拆卸地连接；其中，至少波纹管段和外管的材质包括：PFA材料或PTFE材料。如此配置，通过至少将波纹管段和外管的材质由原有的不锈钢更换为PFA或PTFE等工程塑料，降低了波纹管段内壁上的残留物含量，进而避免在对工艺腔室进行保养的过程中，与外界水气接触形成强酸物质腐蚀管路内壁的情况；同时，本申请通过设置两层管路，提升了气体输送管路的防漏性能。
本实用新型气体输送管路以及半导体制造设备在权利要求书中公布了：1.一种气体输送管路，其特征在于，包括：外管和内管； 所述外管套设于所述内管的外部； 所述内管具有波纹管段、第一直管段和第二直管段，所述波纹管段的两端分别与所述第一直管段和所述第二直管段连接，所述第一直管段和所述第二直管段分别用于与快拆接头可拆卸地连接； 其中，至少所述波纹管段和所述外管的材质包括：PFA材料或PTFE材料。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人重庆芯联微电子有限公司，其通讯地址为：401332 重庆市沙坪坝区高新区西永街道西永大道28-2号SOHO楼601-A153；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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