东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司马海禄获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利电子束检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223636806U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520336824.X，技术领域涉及：G01B11/00；该实用新型电子束检测设备是由马海禄;赵金玉设计研发完成，并于2025-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子束检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及电子束检测设备技术领域，要解决光阑控制机构的步进电机对电子束检测设备的成像产生电磁干扰的问题。本实用新型提供了一种电子束检测设备，其包括：一个或多个步进电机，用于调整电子束检测设备的光阑孔的孔位；电机驱动器，通过驱动线缆与步进电机相连接，用于向步进电机发送驱动信号；抗干扰模块，连接于驱动线缆上，用于抑制步进电机所产生的电磁干扰。本实用新型克服了上述的技术问题。
本实用新型电子束检测设备在权利要求书中公布了：1.一种电子束检测设备，其特征在于，包括： 一个或多个步进电机，用于调整所述电子束检测设备的光阑孔的孔位； 电机驱动器，通过驱动线缆与步进电机相连接，用于向步进电机发送驱动信号； 抗干扰模块，连接于所述驱动线缆上，用于抑制所述步进电机所产生的电磁干扰。
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