常熟市兆恒众力精密机械有限公司肖铭获国家专利权
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龙图腾网获悉常熟市兆恒众力精密机械有限公司申请的专利一种晶圆清洗设备用供液管路气密性批量检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223637039U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422528365.3，技术领域涉及：G01M3/08；该实用新型一种晶圆清洗设备用供液管路气密性批量检测装置是由肖铭设计研发完成，并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗设备用供液管路气密性批量检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆清洗设备用供液管路气密性批量检测装置，包括：底板、推钮和压块，所述底板上设置多个检测装置安装槽，每个检测装置安装槽都由扭槽和压槽组成，所述压槽与所述扭槽的中线共线，所述扭槽的一侧设置与所述压槽顶部联通的避让缺口，所述推钮安装在所述扭槽内，所述压块安装在压槽内，所述压块的尾端穿过所述避让缺口与推钮抵接，所述推钮能够推动所述压块在所述压槽内直线运动，所述压块顶部的轮廓与所述压槽的槽头内壁的轮廓与所述供液管路待检位置的前后两侧轮廓相匹配且所述压块的顶部安装有硅胶垫。通过上述方式，本实用新型能够显著提高检测结果的可靠性和检测效率。
本实用新型一种晶圆清洗设备用供液管路气密性批量检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗设备用供液管路气密性批量检测装置，其特征在于，所述供液管路气密性批量检测装置包括：底板、推钮和压块，所述底板上设置多个检测装置安装槽，每个检测装置安装槽都由扭槽和压槽组成，所述压槽与所述扭槽的中线共线，所述扭槽的一侧设置与所述压槽顶部联通的避让缺口，所述推钮安装在所述扭槽内，所述压块安装在所述压槽内，所述压块的尾端能够穿过所述避让缺口与所述推钮抵接，所述推钮能够推动所述压块在所述压槽内直线运动，使所述压块的顶部压向所述压槽的槽头内壁，所述压块顶部的轮廓与所述压槽的槽头内壁的轮廓与所述供液管路待检位置的前后两侧轮廓相匹配且所述压块的顶部安装有硅胶垫。
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