广东精瓷新材料有限公司陈闻杰获国家专利权
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龙图腾网获悉广东精瓷新材料有限公司申请的专利一种金属基座气密性检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223637043U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520036256.1，技术领域涉及：G01M3/20；该实用新型一种金属基座气密性检测装置是由陈闻杰;陈关亮;常鑫烽;李国明;汤家城设计研发完成，并于2025-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种金属基座气密性检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体行业设备及配件检测技术领域，具体涉及一种金属基座气密性检测装置，包括驱动组件、机罩以及均设于机罩内的密封组件和检测组件，所述检测组件包括上加热件、下加热件和检漏件，所述检漏件与密封组件连接；所述密封组件包括承载台以及设于承载台上端的上罩，所述上罩的下端设有容置槽，所述上加热件置于容置槽内，所述承载台的上端开设有与容置槽相通的凹槽，所述下加热件与凹槽卡接，所述下加热件的上端用于放置金属基座，所述驱动组件的下端穿过机罩并与上罩连接，所述驱动组件用于驱动上罩向下移动直至抵接于承载台。检测装置可在加热状态下测试金属基座氦气泄漏率，以获得更高的精度，并确保不会产生漏检的情况。
本实用新型一种金属基座气密性检测装置在权利要求书中公布了：1.一种金属基座气密性检测装置，其特征在于：包括驱动组件6、机罩1以及均设于机罩1内的密封组件4和检测组件，所述检测组件包括上加热件2、下加热件3和检漏件5，所述检漏件5与密封组件4连接；所述密封组件4包括承载台42以及设于承载台42上端的上罩41，所述上罩41的下端设有容置槽411，所述上加热件2置于容置槽411内，所述承载台42的上端开设有与容置槽411相通的凹槽422，所述下加热件3置于凹槽422内，所述下加热件3的上端用于放置金属基座10，所述驱动组件6的下端穿过机罩1的上端面并与上罩41连接，所述驱动组件6用于驱动上罩41向下移动直至抵接于承载台42上表面。
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