深圳市森美协尔科技有限公司刘世文获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市森美协尔科技有限公司申请的专利可调节的探针机构及晶圆检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223637592U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423106132.0,技术领域涉及:G01R1/073;该实用新型可调节的探针机构及晶圆检测装置是由刘世文设计研发完成,并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本可调节的探针机构及晶圆检测装置在说明书摘要公布了:本申请涉及一种可调节的探针机构及晶圆检测装置。探针机构包括:探针组件、顶盖板、安装组件及调节组件,探针组件包括探针臂及多个探针,探针臂沿第一方向延伸,多个探针间隔设置于探针臂的一端;顶盖板用于安装探针组件,探针臂及多个探针位于顶盖板的同一侧;安装组件用于安装探针组件,安装组件包括套接块,套接块连接探针臂背离多个探针的一侧;调节组件包括连接件,连接件沿第二方向延伸,连接件可活动连接套接块;连接件可沿第二方向移动,以带动套接块转动,从而带动探针臂及探针转动,实现对多个探针的角度进行调节,其中,第一方向与第二方向相交。探针机构可对多个探针的角度进行调节。
本实用新型可调节的探针机构及晶圆检测装置在权利要求书中公布了:1.一种可调节的探针机构,其特征在于,所述探针机构包括: 探针组件,所述探针组件包括探针臂及多个探针,所述探针臂沿第一方向延伸,所述多个探针间隔设置于所述探针臂的一端; 顶盖板,所述顶盖板用于安装所述探针组件,所述探针臂及所述多个探针位于所述顶盖板的同一侧; 安装组件,所述安装组件用于安装所述探针组件,所述安装组件包括套接块,所述套接块连接所述探针臂背离所述多个探针的一侧;以及 调节组件,所述调节组件包括连接件,所述连接件沿第二方向延伸,所述连接件可活动连接所述套接块;所述连接件可沿第二方向移动,以带动所述套接块转动,从而带动所述探针臂及探针转动,实现对所述多个探针的角度进行调节,其中,所述第一方向与所述第二方向相交。
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