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龙图腾网获悉上海华力集成电路制造有限公司申请的专利小剂量涂胶装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223637882U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520054930.9，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型小剂量涂胶装置是由包春月;唐文尧设计研发完成，并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本小剂量涂胶装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种小剂量涂胶装置，其包括：机械臂、光刻胶安装机构、气动推进机构及涂胶压力设定机构，机械臂能够固定在机台上，在涂胶装置为非工作状态时处于折叠状态，在涂胶装置为工作状态时处于伸展状态，其末端与光刻胶安装机构连接；光刻胶安装机构包括固定部、连接部及支撑部，且三者形成工字型结构，其中，固定部用于与机械臂的末端连接，且其边缘处设有通孔；气动推进机构包括气管、气泵、气缸及两位六通电磁阀；涂胶压力设定机构固定于支撑部的下端，包括压力调节旋钮，光刻胶入口及光刻胶出口，且光刻胶入口与气缸管道连通。通过本实用新型解决了现有的手动倒胶无法控制光阻用量及影响产能的问题。

本实用新型小剂量涂胶装置在权利要求书中公布了：1.一种小剂量涂胶装置，其特征在于，其包括：机械臂、光刻胶安装机构、气动推进机构及涂胶压力设定机构， 所述机械臂能够固定在机台上，在所述涂胶装置为非工作状态时处于折叠状态，在所述涂胶装置为工作状态时处于伸展状态，其末端与所述光刻胶安装机构连接； 所述光刻胶安装机构包括固定部、连接部及支撑部，且三者形成工字型结构，其中，所述固定部用于与所述机械臂的末端连接，且其边缘处设有通孔； 所述气动推进机构包括气管、气泵、气缸及两位六通电磁阀，其中，所述气管的一端固定于所述固定部的底端，另一端至于所述气缸内，且其侧部设有至少两个与所述气管内部连通的气管管道，所述气缸置于所述连接部的一侧，其内设有活塞，且所述活塞下方空间用于存放光刻胶，所述气缸的底部设有与其内部连通的气缸管道，所述气泵贯穿所述通孔固定于所述固定部，其包括电机、气泵进气口及气泵出气口，所述两位六通电磁阀包括控制开关、第一进气口、第一出气口，第二进气口及第二出气口，所述第一进气口与所述气泵出气口连通，所述第一出气口与所述气泵进气口连通，所述第二进气口及所述第二出气口分别与两个所述气管管道连接； 所述涂胶压力设定机构固定于所述支撑部的下端，包括压力调节旋钮，光刻胶入口及光刻胶出口，且所述光刻胶入口与所述气缸管道连通。

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