上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司陈鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请的专利一种光刻机吸盘及光刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223637883U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420412557.5，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光刻机吸盘及光刻机是由陈鹏;余洋;周伟;施超;董佳设计研发完成，并于2024-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机吸盘及光刻机在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光刻机吸盘及光刻机，其中，光刻机吸盘用于吸附待处理晶圆，所述晶圆放置于所述光刻机吸盘上，所述晶圆包括中心区域和边缘区域，所述光刻机吸盘包括：基座；内盘，所述内盘固定安装于所述基座上，所述内盘与所述中心区域相接触；外盘，所述外盘与所述基座活动连接，所述外盘与所述边缘区域相接触，所述外盘套设于所述内盘外，使得所述外盘和所述内盘紧贴；驱动组件，所述驱动组件安装于所述基座中,所述驱动组件与所述外盘连接，所述驱动组件用于驱动所述外盘相对所述内盘移动。本实用新型能够有效调整晶圆的翘曲度，并且简便易行，从而避免散焦现象和减小套刻误差。
本实用新型一种光刻机吸盘及光刻机在权利要求书中公布了：1.一种光刻机吸盘，用于吸附待处理晶圆，所述晶圆放置于所述光刻机吸盘上，所述晶圆包括中心区域和边缘区域，其特征在于，所述光刻机吸盘包括： 基座； 内盘，所述内盘固定安装于所述基座上，所述内盘与所述中心区域相接触； 外盘，所述外盘与所述基座活动连接，所述外盘与所述边缘区域相接触，所述外盘套设于所述内盘外，使得所述外盘和所述内盘紧贴； 驱动组件，所述驱动组件安装于所述基座中,所述驱动组件与所述外盘连接，所述驱动组件用于驱动所述外盘相对所述内盘移动。
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