顶旭(苏州)微控技术有限公司吴焕获国家专利权
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龙图腾网获悉顶旭(苏州)微控技术有限公司申请的专利一种用于紫外光刻机的晶圆吸附结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223637889U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520292256.8，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种用于紫外光刻机的晶圆吸附结构是由吴焕;周智君;朱彦艳设计研发完成，并于2025-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于紫外光刻机的晶圆吸附结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于紫外光刻机的晶圆吸附结构，涉及晶圆吸附技术领域，包括：底座、底座顶部设置的支架、支架顶部设置的承接台及承接台顶部设置的晶圆本体；吸附组件，吸附组件包括设置在承接台顶部的外吸盘，外吸盘顶部设置有内吸盘，内吸盘顶部开设有出气口，外吸盘上开设有进气口，外吸盘内部设置有气道；净化组件，净化组件置于晶圆本体顶部，净化组件包括设置在晶圆本体顶部的净化箱，净化箱内部转动连接有固定杆，固定杆上固定连接有叶片，净化箱内部设置有活性炭过滤板，活性炭过滤板位于叶片底部，通过设置的净化组件，将气体中含油的成分进行去除，使气体能够以更均匀、稳定的方式通过吸附结构，为晶圆提供均匀的吸附力。
本实用新型一种用于紫外光刻机的晶圆吸附结构在权利要求书中公布了：1.一种用于紫外光刻机的晶圆吸附结构，其特征在于，包括： 底座1、底座1顶部设置的支架2、支架2顶部设置的承接台3及承接台3顶部设置的晶圆本体5； 吸附组件4，所述吸附组件4置于承接台3顶部，所述吸附组件4包括设置在承接台3顶部的外吸盘41，所述外吸盘41顶部设置有内吸盘42，所述内吸盘42顶部开设有出气口43，所述外吸盘41上开设有进气口44，所述外吸盘41内部设置有气道45； 净化组件6，所述净化组件6置于晶圆本体5顶部，所述净化组件6包括设置在晶圆本体5顶部的净化箱61，所述净化箱61内部转动连接有固定杆63，所述固定杆63上固定连接有叶片64，所述净化箱61内部设置有活性炭过滤板65，所述活性炭过滤板65位于叶片64底部。
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