江苏鲁汶仪器股份有限公司桑康获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种离子束工艺腔室及离子刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223638324U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423083326.3，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种离子束工艺腔室及离子刻蚀设备是由桑康;贺小明;胡冬冬;陈龙保;杨宇新;刘利国;许开东设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子束工艺腔室及离子刻蚀设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种离子束工艺腔室及离子刻蚀设备，本方案包括离子腔室、反应腔室、晶圆载台以及束缚板，其中，离子腔室具有离子源，与反应腔室衔接处为喷射口，离子源通过喷射口在反应腔室内形成离子束；晶圆载台布置在反应腔室内；束缚板布置于喷射口处，以调整离子束的轰击角度。本申请的离子束工艺腔室在喷射口处设置有束缚板，通过该束缚板能够通过调整离子束的轰击角度达到调整离子束的轰击面积，从而减少轰击反应腔室的几率；另外该束缚板为非金属材质，因此不会游离出金属，出降低工艺过程中带来的金属及颗粒污染。
本实用新型一种离子束工艺腔室及离子刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种离子束工艺腔室，其特征在于，包括离子腔室、反应腔室、晶圆载台以及束缚板，其中，所述离子腔室具有离子源，与所述反应腔室衔接处为喷射口，所述离子源通过所述喷射口在所述反应腔室内形成离子束；所述晶圆载台布置在所述反应腔室内；所述束缚板布置于所述喷射口处，以调整所述离子束的轰击角度。
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