江苏鲁汶仪器股份有限公司郭颂获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种等离子体刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223638325U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423116142.2，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种等离子体刻蚀设备是由郭颂;李春桥;秦彬鑫;王海东;陈冬冬;刘小波;胡冬冬;许开东设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子体刻蚀设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种等离子体刻蚀设备，涉及等离子体处理领域，包括：等离子体反应腔室，用于通入工艺气体和放置晶圆；射频组件，射频组件包括射频线圈和射频源，射频源用于给射频线圈提供射频信号，使得射频线圈产生射频场，作用于工艺气体，产生等离子体；驱动源和旋转连接板，驱动源用于提供驱动力，旋转连接板一端与射频线圈固定，另一端通过联轴器与驱动源固定，在驱动源的驱动下，带动射频线圈围绕射频线圈的中心旋转，以在容易出现不同心的偏边刻蚀图形或者其他种类某区域异常非同心圆式的刻蚀图形的场景中，通过转动射频线圈，使得使异常点不再固定体现在晶圆某片点上，使刻蚀图形显现为同心圆形式，从而更有利于改善晶圆表面的均匀性。
本实用新型一种等离子体刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种等离子体刻蚀设备，其特征在于，包括： 等离子体反应腔室，所述等离子体反应腔室用于通入工艺气体和放置晶圆； 射频组件，所述射频组件包括射频线圈和射频源，所述射频源用于给所述射频线圈提供射频信号，使得所述射频线圈产生射频场，作用于所述工艺气体，产生等离子体； 驱动源，所述驱动源用于提供驱动力； 旋转连接板，所述旋转连接板包括第一组成部分和第二组成部分，其中，所述第一组成部分远离所述第二组成部分的一面用于固定所述射频线圈，所述第二组成部分一端与所述第一组成部分固定连接，另一端通过联轴器与所述驱动源固定连接，在所述驱动源的驱动下，带动所述射频线圈围绕所述射频线圈的中心旋转。
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