常州铭赛机器人科技股份有限公司姜王敏获国家专利权
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龙图腾网获悉常州铭赛机器人科技股份有限公司申请的专利方形晶圆的扫码定位机、多工位晶圆点胶设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223638329U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422661596.1,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型方形晶圆的扫码定位机、多工位晶圆点胶设备是由姜王敏;林翔;李长峰;周典虬;沈臻;潘龙龙;王江坤设计研发完成,并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本方形晶圆的扫码定位机、多工位晶圆点胶设备在说明书摘要公布了:本发明涉及方形晶圆加工设备技术领域,尤其涉及一种方形晶圆的扫码定位机、多工位晶圆点胶设备,多工位晶圆点胶设备包括方形晶圆的扫码定位机、点胶机构和上下料机构,上下料机构用于将点胶完成的晶圆输送至方形晶圆的扫码定位机、点胶机构内,以对晶圆进行扫码、点胶;方形晶圆的扫码定位机包括:承载台,承载台上设置有与方形晶圆形状相匹配的承载板,用于放置待扫码的方形晶圆;扫码模块,扫码模块设置在承载台上并位于承载板的一侧,扫码模块用于识别方形晶圆上的标识以获取方形晶圆的信息。方形晶圆的扫码定位机。本申请将方形晶圆放置在与其形状适配的承料板上,扫码模块能够对方形晶圆上的二维码进行识别。
本实用新型方形晶圆的扫码定位机、多工位晶圆点胶设备在权利要求书中公布了:1.一种方形晶圆的扫码定位机,其特征在于,包括, 承载台1,所述承载台1上设置有与方形晶圆形状相匹配的承料板11,用于放置待扫码的方形晶圆,所述承载台1上设置有旋转定位模块4,所述旋转定位模块4用于顶升方形晶圆并控制方形晶圆转动,以校正方形晶圆的方位便于对方形晶圆进行定向扫码; 扫码模块3,所述扫码模块3设置在承载台1上并位于承料板11的一侧,所述扫码模块3用于识别方形晶圆上的标识以获取方形晶圆的信息; 所述旋转定位模块4包括: 支撑环46,所述支撑环46用于吸附方形晶圆; 第二顶升机构42,所述第二顶升机构42用于控制所述支撑环46沿竖直方向移动并可凸出于所述承料板11; 旋转机构43,所述旋转机构43在所述支撑环46沿竖直方向移动并可凸出于所述承料板11时,驱动所述支撑环46围绕竖直方向旋转,并同步带动方形晶圆旋转。
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