沈阳百举捷科学仪器有限公司朱玉红获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉沈阳百举捷科学仪器有限公司申请的专利一种反应离子刻蚀机用样品台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223638330U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422917288.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种反应离子刻蚀机用样品台是由朱玉红;王丽丽设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种反应离子刻蚀机用样品台在说明书摘要公布了：一种反应离子刻蚀机用样品台，属于刻蚀机领域。包括样品台和盖；样品台的上端设有多个样品槽，样品槽的底端设有凹槽；凹槽的底面上固定连接有支杆，支杆的上端固定连接有放置台；凹槽的底端设有进气口Ⅰ，样品台的底端中心设有进气口Ⅱ，进气口Ⅱ与进气口Ⅰ通过进气通道连通；放置台上设有竖向的穿孔，放置台上设有多个与穿孔连通的且中心对称的排气通道；盖上设有多个刻蚀槽，盖扣合在样品台的上端；样品台上设有多个竖向贯穿样品台的排气孔；样品槽的内壁上固定连接有螺旋板。本实用新型通过样品槽内壁上的螺旋板，增加导气通道，使样品在加工过程中，其侧面也能有冷却气体流通，增加样品的侧面散热效果，进而提升样品整体的散热效果。
本实用新型一种反应离子刻蚀机用样品台在权利要求书中公布了：1.一种反应离子刻蚀机用样品台，其特征在于：包括样品台3和盖1；所述样品台3的上端设有多个样品槽35，样品槽35的底端设有凹槽34；所述凹槽34的底面上固定连接有支杆4，支杆4的上端固定连接有放置台5；所述凹槽34的底端设有进气口Ⅰ33，样品台3的底端中心设有进气口Ⅱ31，进气口Ⅱ31与进气口Ⅰ33通过进气通道32连通；所述放置台5上设有竖向的穿孔52，放置台5上设有多个与穿孔52连通的且中心对称的排气通道51；所述盖1上设有多个刻蚀槽11，盖1扣合在样品台3的上端；所述样品台3上设有多个竖向贯穿样品台3的排气孔37；所述样品槽35的内壁上固定连接有螺旋板36。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人沈阳百举捷科学仪器有限公司，其通讯地址为：110000 辽宁省沈阳市沈北新区京沈街50号(1026)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励