北京京仪自动化装备技术股份有限公司孙晓东获国家专利权
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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的专利可替代晶圆盒的一键开盒工装获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223638332U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423068040.8,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型可替代晶圆盒的一键开盒工装是由孙晓东;侯君设计研发完成,并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本可替代晶圆盒的一键开盒工装在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种可替代晶圆盒的一键开盒工装,用于一键打开晶圆装载装置,包括:底板,所述底板设于所述晶圆装载装置上;晶圆装载装置,所述晶圆装载装置上设有第一传感器以及两个第二传感器,所述底板与所述第一传感器抵接;存放盒,所述存放盒设于所述底板上,且所述存放盒设于两个所述第二传感器之间,所述存放盒用于存放晶圆;外罩,所述外罩覆盖所述存放盒的侧面,用于遮挡两个所述第二传感器之间相互发送的信号,所述存放盒朝向所述晶圆装载装置入口的一侧设有开口。本申请通过底板下压第一传感器,通过外罩遮蔽两个第二传感器之间的信号,从而使晶圆装载装置进行开盒操作,节省人工操作的时间,提高了效率。
本实用新型可替代晶圆盒的一键开盒工装在权利要求书中公布了:1.一种可替代晶圆盒的一键开盒工装,用于一键打开晶圆装载装置,其特征在于,包括: 底板1,所述底板1设于所述晶圆装载装置2上; 晶圆装载装置2,所述晶圆装载装置2上设有第一传感器21以及两个第二传感器22,所述底板1与所述第一传感器21抵接; 存放盒3,所述存放盒3设于所述底板1上,且所述存放盒3设于两个所述第二传感器22之间,所述存放盒3用于存放晶圆4; 外罩5,所述外罩5覆盖所述存放盒3的侧面,用于遮挡两个所述第二传感器22之间相互发送的信号,所述存放盒3朝向所述晶圆装载装置2入口的一侧设有开口。
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