华海清科股份有限公司;华海清科(北京)科技有限公司李小娟获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司;华海清科(北京)科技有限公司申请的专利压力检测装置、真空系统及晶圆减薄设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223638333U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423142527.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型压力检测装置、真空系统及晶圆减薄设备是由李小娟;赵德文;付永旭;靳凯强;刘远航设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本压力检测装置、真空系统及晶圆减薄设备在说明书摘要公布了：本申请提出了压力检测装置、真空系统及晶圆减薄设备。所述压力检测装置用于检测晶圆减薄设备的真空系统的压力变化，所述压力检测装置包括压力传感器和压力传感器管路，所述压力传感器管路的第一端连接于所述压力传感器，所述压力传感器管路的第二端用于连接所述真空系统的流体管路。该压力检测装置通过提供压力传感器管路能够延长压力传感器寿命。
本实用新型压力检测装置、真空系统及晶圆减薄设备在权利要求书中公布了：1.一种压力检测装置，所述压力检测装置用于检测晶圆减薄设备的真空系统的压力变化，其特征在于，所述压力检测装置包括压力传感器16和压力传感器管路19，所述压力传感器管路19的第一端连接于所述压力传感器16，所述压力传感器管路19的第二端用于连接所述真空系统的流体管路11。
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