江苏鲁汶仪器股份有限公司李百顺获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种开合机构以及等离子刻蚀系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223638337U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423206026.X，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种开合机构以及等离子刻蚀系统是由李百顺;李浩;郑德伟;尹格华;刘海洋;彭泰彦;胡冬冬;许开东设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种开合机构以及等离子刻蚀系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种开合机构以及等离子刻蚀系统，该开合机构用于真空腔室，真空腔室包括腔盖及腔体，开合机构包括平移滑动支撑装置以及开合装置，两个平移滑动支撑装置对称地设置于腔体的两侧，多个开合装置对称地在腔体的两侧滑动设置于平移滑动支撑装置，开合装置的驱动端与腔盖连接，开合装置用于驱动腔盖沿开合方向相对于腔体往复移动，且开合装置能够在平移滑动支撑装置上沿平移方向相对于腔体往复移动，开合方向与平移方向相交。上述开合机构中的多个开合装置对称地设置于腔体及腔盖的两侧，能够保证腔盖在开合过程中两侧均匀受力，避免腔盖一侧翘起的问题，保证真空腔室密封性，平移移动方式占地空间小，可提高维护空间，方便维护。
本实用新型一种开合机构以及等离子刻蚀系统在权利要求书中公布了：1.一种开合机构，用于真空腔室1，所述真空腔室1包括腔盖102以及腔体101，其特征在于，所述开合机构包括： 平移滑动支撑装置2，两个所述平移滑动支撑装置2对称地设置于所述腔体101的两侧； 开合装置3，多个所述开合装置3对称地在所述腔体101的两侧滑动设置于所述平移滑动支撑装置2，所述开合装置3的驱动端与所述腔盖102连接，所述开合装置3用于驱动所述腔盖102沿开合方向相对于所述腔体101往复移动，且所述开合装置3能够在所述平移滑动支撑装置2上沿平移方向相对于所述腔体101往复移动，所述开合方向与所述平移方向相交。
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