海目星激光科技集团股份有限公司吴文武获国家专利权
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龙图腾网获悉海目星激光科技集团股份有限公司申请的专利一种吸附组件和晶圆载板固定治具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223638348U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422618440.5，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种吸附组件和晶圆载板固定治具是由吴文武;王国安;汤奇烨;曾劲帆设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种吸附组件和晶圆载板固定治具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种吸附组件和晶圆载板固定治具，对于两种不同尺寸的载板，可以分别使得这两种载板未设置晶圆的边沿分别与第一凹槽的边沿抵接或者与第二凹槽的边沿抵接，通过向第一负压通道提供负压，使得第一吸附孔能够将载板吸附在第一凹槽的边沿，通过向第二负压通道提供负压，使得第二吸附孔能够将载板吸附在第二凹槽的边沿，载板固定牢固。第一吸附孔和第二吸附孔能够将载板固定住，且第一凹槽和第二凹槽的设置使得该吸附组件能够兼容不同尺寸的载板。
本实用新型一种吸附组件和晶圆载板固定治具在权利要求书中公布了：1.一种吸附组件，其特征在于：包括支撑板和吸附板，所述吸附板安装在所述支撑板上，所述吸附板上设置有若干凹槽，各所述凹槽呈阶梯状设置，各所述凹槽的边沿均设置有吸附孔，所述吸附板的内部设置有若干负压通道，各所述负压通道错位设置，各所述负压通道分别与各所述吸附孔连通。
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