东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司张禧晨获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利晶片承载装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223638349U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422822930.7，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型晶片承载装置是由张禧晨;米涛;杨延德;马得泉;王作为设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶片承载装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶片承载装置，包括静电卡盘和插针，静电卡盘用于承载并吸附晶片；插针安装于静电卡盘，插针具有接地端和放电端，插针通过接地端接地，并通过放电端对晶片进行刺破及放电。本申请的晶片承载装置，能够实现对于晶片吸附状态的准确识别，从而保证整体的工作效率。
本实用新型晶片承载装置在权利要求书中公布了：1.一种晶片承载装置，其特征在于，包括： 静电卡盘10，用于承载并吸附晶片； 插针20，所述插针20安装于所述静电卡盘10，所述插针20具有接地端和放电端21，所述插针20通过所述接地端接地，并通过所述放电端21对所述晶片进行刺破及放电。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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