江苏鲁汶仪器股份有限公司郭颂获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种静电吸盘及等离子刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223638350U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423162452.8，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种静电吸盘及等离子刻蚀设备是由郭颂;李春桥;秦彬鑫;石小丽;张亦涛;刘小波;胡冬冬;许开东设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电吸盘及等离子刻蚀设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种静电吸盘及等离子刻蚀设备，其中，静电吸盘包括吸盘座和吸盘板；所述吸盘板与所述吸盘座可拆卸固定，所述吸盘座设有冷却流道，所述吸盘板远离所述吸盘座的一侧设有吸附面；所述吸盘板与所述吸盘座固定状态下，吸盘板和所述吸盘座之间围合形成导热腔，所述导热腔内填充有导热物质。通过将静电吸盘设置为分体式结构，能够简化静电吸盘的更换操作、提高更换效率并降低成本。
本实用新型一种静电吸盘及等离子刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种静电吸盘，其特征在于，包括吸盘座1和吸盘板2； 所述吸盘板2与所述吸盘座1可拆卸固定，所述吸盘座1设有冷却流道11，所述吸盘板2远离所述吸盘座1的一侧设有吸附面21； 所述吸盘板2与所述吸盘座1固定状态下，吸盘板2和所述吸盘座1之间围合形成导热腔，所述导热腔内填充有导热物质。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏鲁汶仪器股份有限公司，其通讯地址为：221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励