江苏鲁汶仪器股份有限公司耿斌获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种晶圆载台装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223638352U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423137033.9，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆载台装置是由耿斌;桑康;陈龙保;程实然;胡少谦;胡冬冬;石小丽;许开东设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆载台装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆载台装置，通过对晶圆载台装置的结构进行调整，使得晶圆载台装置能够适应不同厚度的晶圆，提高了晶圆载台装置的适应性。晶圆载台装置包括载台本体，所述载台本体具有用以容纳晶圆的容纳槽，所述容纳槽由所述载台本体的表面沿轴向下凹以形成；还包括在轴向与所述载台本体相对的压环，所述压环能够插入至所述容纳槽内并与所述容纳槽的槽底间接相抵，所述压环具有水平延伸的压接面以及竖向延伸的侧壁，所述侧壁为直面壁，所述侧壁在径向与所述容纳槽的槽侧壁间隙配合。由此避免了压环的侧壁与容纳槽的顶壁之间的干涉，提高了晶圆载台装置对不同厚度的晶圆的适配度。
本实用新型一种晶圆载台装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载台装置，其特征在于，包括载台本体100，所述载台本体100具有用以容纳晶圆的容纳槽102-1，所述容纳槽102-1由所述载台本体100沿轴向下凹以形成； 还包括在轴向与所述载台本体100相对的压环201，所述压环201能够插入至所述容纳槽102-1内并与所述容纳槽102-1的槽底间接相抵，所述压环201具有水平延伸的压接面以及竖向延伸的侧壁，所述侧壁为直面壁，所述侧壁在径向与所述容纳槽102-1的槽侧壁间隙配合。
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