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龙图腾网获悉长江存储科技有限责任公司申请的专利运输设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111200040B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010121151.8，技术领域涉及：H10F71/00；该发明授权运输设备是由孟文钱设计研发完成，并于2020-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本运输设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种运输设备。运输设备用于将晶圆输送至预设位置处，运输设备包括：承载结构，用于承载晶圆；电磁组件，位于至少部分承载结构的外围，电磁组件用于通电后向承载结构施加电磁力，以使承载结构处于悬浮状态；驱动组件，与承载结构连接；驱动组件用于在承载结构处于悬浮状态时驱动承载结构运动至预设位置处。本发明有效地解决了现有技术中下平台的运行不稳定而影响上、下晶圆的对准精度的问题。

本发明授权运输设备在权利要求书中公布了：1.一种运输设备，用于将晶圆输送至预设位置处，其特征在于，所述运输设备包括： 承载结构，用于承载所述晶圆； 电磁组件，位于至少部分所述承载结构的外围，所述电磁组件用于通电后向所述承载结构施加电磁力，以使所述承载结构处于悬浮状态； 驱动组件，与所述承载结构连接；所述驱动组件用于在所述承载结构处于所述悬浮状态时驱动所述承载结构运动至所述预设位置处； 所述电磁组件包括： 第一电磁结构，位于所述承载结构的下方，所述第一电磁结构向所述承载结构施加朝上的电磁力； 第二电磁结构，位于所述承载结构的上方且与所述第一电磁结构相对设置，所述第二电磁结构向所述承载结构施加朝上或朝下的电磁力； 所述运输设备还包括控制模块，所述控制模块与所述电磁组件连接，以控制所述电磁组件所在电路的通断，所述驱动组件包括： 驱动装置，与所述承载结构连接，所述驱动装置驱动所述承载结构运动；所述控制模块与所述驱动装置连接，以控制所述驱动装置的启停动作； 所述控制模块还用于控制所述电磁组件所在电路处于通路状态且控制所述驱动装置处于停止运行状态，以使所述运输设备处于承接状态，所述承载结构对所述晶圆进行承载； 待所述承载结构承载所述晶圆后，所述控制模块再控制所述驱动装置处于启动状态，所述驱动装置驱动所述承载结构带动所述晶圆运动。

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