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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112687607B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011079362.6，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权基板处理装置是由守田聪;川原幸三设计研发完成，并于2020-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置。该基板处理装置高精度地控制旋转的基板的温度。基板处理装置包括：旋转台，其保持基板；旋转驱动部，其使所述旋转台绕旋转轴线旋转；至少一个电加热器，其设于所述旋转台；至少一个受电线圈，其设于所述旋转台，与所述电加热器电连接；至少一个供电线圈，其设置为与所述受电线圈空开间隙，能够与所述受电线圈在所述旋转轴线的方向上相面对；以及高频电源单元，其向所述供电线圈供给高频电力。

本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其中，该基板处理装置包括： 旋转台，其保持基板； 旋转驱动部，其使所述旋转台绕旋转轴线旋转； 至少一个电加热器，其设于所述旋转台； 至少一个受电线圈，其设于所述旋转台，与所述电加热器电连接； 至少一个供电线圈，其设置为与所述受电线圈空开间隙，能够与所述受电线圈在所述旋转轴线的方向上相面对；以及高频电源单元，其向所述供电线圈供给高频电力，其中，所述至少一个电加热器包含第1加热器和第2加热器，所述至少一个受电线圈包含第1受电线圈和第2受电线圈，所述至少一个供电线圈包含第1供电线圈和第2供电线圈，形成包含所述第1加热器和所述第1受电线圈在内的第1共振电路，形成包含所述第2加热器和所述第2受电线圈在内的第2共振电路，作为所述第1共振电路的共振频率的第1共振频率和作为所述第2共振电路的共振频率的第2共振频率互相不同，所述高频电源单元包含：第1供电部，其向所述第1供电线圈供给与所述第1共振频率相当的频率的高频电力；以及第2供电部，其向所述第2供电线圈供给与所述第2共振频率相当的频率的高频电力，所述第1受电线圈为配置在第1环状区域的圆圈状的线圈，该第1环状区域以所述旋转轴线为中心且距所述旋转轴线的距离为第1距离，所述第2受电线圈为配置在第2环状区域的圆圈状的线圈，该第2环状区域以所述旋转轴线为中心且距所述旋转轴线的距离为大于所述第1距离的第2距离，所述第1供电线圈为配置在无论所述旋转台的旋转相位如何都与所述第1受电线圈相面对的位置的圆圈状的线圈，所述第2供电线圈为配置在无论所述旋转台的旋转相位如何都与所述第2受电线圈相面对的位置的圆圈状的线圈，在配置有所述至少一个受电线圈的受电线圈配置区域与配置有所述至少一个电加热器的加热器配置区域之间配置有第1铁氧体，在配置有所述至少一个供电线圈的供电线圈配置区域与构成所述旋转驱动部的电动马达之间配置有第2铁氧体，其中，所述第1加热器和所述第2加热器设于所述第1铁氧体的上方，所述第1受电线圈与所述第2受电线圈设于所述第1铁氧体的下方，所述第1供电线圈与所述第2供电线圈设于所述第2铁氧体的上方，所述电动马达设于所述第2铁氧体的下方，所述第1受电线圈与所述第1加热器电连接以形成所述第1共振电路，所述第2受电线圈与所述第2加热器电连接以形成所述第2共振电路，通过所述第1供电部向所述第1供电线圈供给与所述第1共振频率相当的频率的高频电力以经由所述第1受电线圈向所述第1加热器进行无线供电，通过所述第2供电部向所述第2供电线圈供给与所述第2共振频率相当的频率的高频电力以经由所述第2受电线圈向所述第2加热器进行无线供电。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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