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株式会社迪思科植木笃获国家专利权

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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利激光束的光斑形状的校正方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112935531B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011398871.5,技术领域涉及:B23K26/064;该发明授权激光束的光斑形状的校正方法是由植木笃;野村哲平设计研发完成,并于2020-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

激光束的光斑形状的校正方法在说明书摘要公布了:本发明提供激光束的光斑形状的校正方法,能够抑制激光束的光斑形状的校正所需的工时,能够降低向被加工物照射的激光束的加工装置间的机械误差。激光束的光斑形状的校正方法包含如下步骤:激光束照射步骤,将激光束照射到凹面镜;拍摄步骤,通过光束分析仪对反射光进行拍摄;图像形成步骤,根据通过拍摄步骤而拍摄的XY平面像而形成XZ平面像或YZ平面像;以及比较步骤,将通过图像形成步骤而形成的图像与理想的激光束的XZ平面像或YZ平面像进行比较,该方法中,变更空间光调制器的显示部上所显示的相位图案,以使得通过图像形成步骤而形成的XZ平面像或YZ平面像与理想的激光束的XZ平面像或YZ平面像一致。

本发明授权激光束的光斑形状的校正方法在权利要求书中公布了:1.一种激光束的光斑形状的校正方法,在激光加工装置中对由聚光透镜聚光的激光束的光斑形状进行校正,该激光加工装置具有: 卡盘工作台,其具有保持面,该保持面对被加工物进行保持; 激光束照射单元,其向该卡盘工作台所保持的被加工物照射激光束;以及控制部,该激光束照射单元包含: 激光振荡器; 所述聚光透镜,其配置于与该保持面对置的位置,对从该激光振荡器射出的激光束进行聚光;以及空间光调制器,其配设在该激光振荡器与该聚光透镜之间,其特征在于,该激光束的光斑形状的校正方法具有如下的步骤: 凹面镜配置步骤,将反射面为球面的凹面镜定位于与该激光束照射单元的该聚光透镜相对的位置; 焦点定位步骤,在该凹面镜配置步骤之后,将该聚光透镜的聚光点定位于该凹面镜的焦点位置; 激光束照射步骤,使该激光振荡器进行动作,向该凹面镜照射由该聚光透镜聚光的激光束; 拍摄步骤,通过拍摄单元对被该凹面镜的反射面反射的反射光进行拍摄; 图像形成步骤,根据通过该拍摄步骤而拍摄的表示激光束的形状和强度分布的XY平面像而形成XZ平面像或YZ平面像;以及比较步骤,将通过该图像形成步骤而形成的图像与具有理想的形状和强度分布的激光束的XZ平面像或YZ平面像进行比较,变更该空间光调制器的显示部上所显示的相位图案,以使得通过该图像形成步骤而形成的XZ平面像或YZ平面像与该具有理想的形状和强度分布的激光束的XZ平面像或YZ平面像一致。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社迪思科,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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