台湾积体电路制造股份有限公司林士尧获国家专利权
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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利具有减小的高度的虚设鳍及其形成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113078111B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011630339.1,技术领域涉及:H10D84/01;该发明授权具有减小的高度的虚设鳍及其形成方法是由林士尧;刘得涌;林志翰设计研发完成,并于2020-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有减小的高度的虚设鳍及其形成方法在说明书摘要公布了:本公开涉及具有减小的高度的虚设鳍及其形成方法。一种方法,包括:将第一突出半导体鳍和虚设鳍形成为突出得比隔离区域的顶表面高。第一突出半导体鳍平行于虚设鳍,在第一突出半导体鳍的第一部分和虚设鳍的第二部分上形成栅极堆叠件。该方法还包括使得第一突出半导体鳍的第三部分凹陷以形成凹槽,使得虚设鳍的第四部分凹陷以减小虚设鳍的第四部分的高度,以及在凹槽中形成外延半导体区域。外延半导体区域朝向虚设鳍生长。
本发明授权具有减小的高度的虚设鳍及其形成方法在权利要求书中公布了:1.一种用于形成半导体器件的方法,包括: 形成多个第一突出半导体鳍; 去除所述多个第一突出半导体鳍中一个或多个以形成与半导体衬底接触的虚设鳍,所述第一突出半导体鳍和虚设鳍突出得比隔离区域的顶表面高,其中,所述第一突出半导体鳍平行于所述虚设鳍,其中,所述第一突出半导体鳍具有第一高度; 在所述第一突出半导体鳍的第一部分和所述虚设鳍的第二部分上形成栅极堆叠件; 使得所述第一突出半导体鳍的第三部分凹陷以形成凹槽; 使得所述虚设鳍的第四部分凹陷以减小所述虚设鳍的第四部分的高度至第二高度,所述第二高度小于所述第一高度;以及在所述凹槽中形成外延半导体区域,其中,所述外延半导体区域朝向所述虚设鳍生长,其中,所述虚设鳍的第二部分具有第一底部宽度和第一顶部宽度,所述第一顶部宽度等于所述第一底部宽度,并且其中,所述虚设鳍的第四部分具有第二底部宽度和第二顶部宽度,所述第二顶部宽度小于所述第二底部宽度。
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