康宁股份有限公司P·马宗达获国家专利权
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龙图腾网获悉康宁股份有限公司申请的专利气密性完全填充的金属化的贯穿孔通孔获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113728420B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080027291.7,技术领域涉及:H01L21/48;该发明授权气密性完全填充的金属化的贯穿孔通孔是由P·马宗达;C·A·欧克洛;朴娥英;S·C·波拉德;N·K·塞巴晏设计研发完成,并于2020-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本气密性完全填充的金属化的贯穿孔通孔在说明书摘要公布了:根据各个实施方式,一种制品包括玻璃或玻璃陶瓷基材,其具有第一主表面以及与第一主表面相对的第二主表面;以及在轴向方向上穿过基材而从第一主表面延伸轴向长度L到达第二主表面的通孔,所述通孔限定了内表面;以及第一轴向部分、第三轴向部分和沿着轴向方向设置在第一轴向部分与第三轴向部分之间的第二轴向部分。所述制品还包括至少设置在第一轴向部分和或第三轴向部分中的内表面上的氦气气密性粘附层;以及设置在通孔内的金属连接件,其中,所述金属连接件粘附于氦气气密性粘附层。所述金属连接件在通孔的轴向长度L内完全填充通孔,所述通孔具有小于或等于30μm的最大直径Φ最大,以及轴向长度L,并且所述最大直径Φ最大满足方程:
本发明授权气密性完全填充的金属化的贯穿孔通孔在权利要求书中公布了:1.一种玻璃或玻璃陶瓷制品,其包括: 具有第一主表面[102]以及与第一主表面[102]相对的第二主表面[104]的玻璃或玻璃陶瓷基材[100],以及在轴向方向上穿过基材[100]而从第一主表面[102]延伸轴向长度L到达第二主表面[104]的通孔[110],所述通孔限定了: 内表面[114];和第一轴向部分[116]、第三轴向部分[120]和沿着轴向方向设置在第一轴向部分[116]与第三轴向部分[120]之间的第二轴向部分[118]; 设置在第一轴向部分[116]和或第三轴向部分[120]中内表面[114]上的氦气气密性粘附层[122],其中,氦气气密性粘附层不设置在第二轴向部分中的内表面上;以及设置在通孔[110]内的金属连接件[150],其中,所述金属连接件[150]粘附于氦气气密性粘附层[122],其中: 所述金属连接件[150]在通孔[110]的轴向长度L内完全填充通孔[110]; 所述通孔[110]具有小于或等于25μm的最大直径Φ最大;并且轴向长度L和最大直径Φ最大满足方程:
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