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龙图腾网获悉上海华力集成电路制造有限公司申请的专利一种在线辅助监控离子注入的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114496828B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210076914.0，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种在线辅助监控离子注入的方法是由张强强;归琰设计研发完成，并于2022-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种在线辅助监控离子注入的方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种在线辅助监控离子注入的方法，在晶圆的每个die中用于膜厚量测的pad中增加多个量测pad；在晶圆待注入区域进行离子注入的同时向量测pad中进行离子注入；当离子注入发生异常时，获得量测pad的X射线光电子能谱信号值；提供X射线光电子能谱信号值与离子注入剂量的线性方程；将量测pad的X射线光电子能谱信号值代入线性方程中，得到量测pad的实际离子注入剂量；将实际离子注入剂量与补打信息进行对比，若对比结果在允许差值范围内，则执行补打任务；若对比结果不在允许差值范围内，则对晶圆进行报废处理。本发明能够准确判断晶圆的实际作业情况，从而实现对离子注入工艺的在线辅助监控，降低生产成本并提高生产良率。

本发明授权一种在线辅助监控离子注入的方法在权利要求书中公布了：1.一种在线辅助监控离子注入的方法，其特征在于，至少包括： 步骤一、在晶圆的每个die中用于膜厚量测的pad中增加多个量测pad，所述量测pad与衬底的材料一致； 步骤二、在所述晶圆待注入区域进行离子注入的同时向所述量测pad中进行离子注入，在所述晶圆待注入区域进行离子注入的次数为多次，并且每次向同一所述量测pad中进行离子注入的种类不同； 步骤三、当离子注入作业发生异常时，利用X射线光电子能谱对所述量测pad进行测试，获得所述量测pad的X射线光电子能谱信号值； 步骤四、提供X射线光电子能谱信号值与离子注入剂量的线性方程； 步骤五、将步骤三中的所述量测pad的所述X射线光电子能谱信号值代入步骤四中的所述线性方程中，得到所述量测pad的实际离子注入剂量； 步骤六、提供离子注入作业发生异常时的离子注入机台的补打信息，将步骤五中的所述实际离子注入剂量与所述补打信息进行对比，若对比结果在允许差值范围内，则执行补打任务；若对比结果不在允许差值范围内，则对所述晶圆进行报废处理。

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