细美事有限公司韩基元获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114496840B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111255312.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于处理基板的装置和方法是由韩基元;孔泰景;宣珍成设计研发完成，并于2021-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理基板的装置和方法在说明书摘要公布了：一种用于处理基板的装置和方法，该装置包括传输部；第一传输机械手和第二传输机械手，该第一传输机械手和第二传输机械手设置在传输部的纵向上；液体处理部，该液体处理部设置在传输部的一侧处、以通过将液体供应到基板来将液体施用到基板，以及热处理部，该热处理部设置在传输部的相对侧、以面向第一工艺处理部，以相对于基板执行热处理。热处理部包括冷却传输模块、以在第一传输机械手与第二传输机械手之间传输基板并冷却基板。
本发明授权用于处理基板的装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的装置，所述装置包括： 传输部； 第一路径和第二路径，所述第一路径和所述第二路径在所述传输部的纵向方向上设置，并且彼此连接； 第一传输机械手和第二传输机械手，所述第一传输机械手设置在所述第一路径中，且所述第二传输机械手设置在所述第二路径中； 液体处理部，所述液体处理部设置在所述传输部的一侧处、以通过将液体供应到所述基板来将所述液体施用到所述基板；以及热处理部，所述热处理部设置在所述传输部的相对侧、以面向所述液体处理部，并且所述热处理部配置为相对于所述基板执行热处理，其中，所述热处理部包括： 第一热处理部，所述第一热处理部具有设置在所述第一路径的相对侧处的热处理腔室； 第二热处理部，所述第二热处理部具有设置在所述第二路径的相对侧处的热处理腔室； 冷却传输模块，所述冷却传输模块设置为在所述第一传输机械手与所述第二传输机械手之间传输所述基板并冷却所述基板，其中所述冷却传输模块设置在所述第一热处理部与所述第二热处理部之间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人细美事有限公司，其通讯地址为：韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励