ASML荷兰有限公司方伟获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利多带电粒子束检查中的串扰消除获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114556515B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080071919.3，技术领域涉及：H01J37/22；该发明授权多带电粒子束检查中的串扰消除是由方伟;浦凌凌;王波;董仲华;王勇新设计研发完成，并于2020-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本多带电粒子束检查中的串扰消除在说明书摘要公布了：公开了一种用于增强图像的改进装置和方法，更具体地，公开了一种用于通过多带电粒子束检查中的串扰消除来增强图像的装置和方法。一种用于增强图像的方法包括从多束检查系统的检测器获取多个图像信号的第一图像信号。第一图像信号对应于来自检测器的第一区域的检测信号，其中第一二次电子束的电子和第二二次电子束的电子入射在该第一区域上。该方法还包括使用第一图像信号和与第一二次电子束和第二二次电子束相关联的束强度之间的关系，从第一图像信号中减少源自第二二次电子束的串扰污染。该方法还包括在减少后，生成对应于第一二次电子束的第一图像。
本发明授权多带电粒子束检查中的串扰消除在权利要求书中公布了：1.一种用于增强图像的方法，所述方法包括： 从多束检查系统的检测器获取多个图像信号中的第一图像信号，其中所述第一图像信号对应于来自所述检测器的第一区域的检测信号，其中第一二次电子束的电子和第二二次电子束的电子入射在所述第一区域上； 使用所述第一图像信号和与所述第一二次电子束和所述第二二次电子束相关联的束强度之间的关系，从所述第一图像信号中减少源自所述第二二次电子束的串扰污染；以及在减少后，生成对应于所述第一二次电子束的第一图像。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励