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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利检测设备及其检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695154B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110124120.2，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权检测设备及其检测方法是由陈鲁;李青格乐;魏林鹏;张嵩设计研发完成，并于2021-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本检测设备及其检测方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种检测设备，其中，所述检测设备包括：发光装置，用于产生照射待测物的入射光，所述待测物表面具有图案标记，所述图案标记包括条纹标记，所述入射光用于在所述图案标记表面形成图案光斑，所述图案光斑包括条纹光斑，所述条纹光斑用于与所述条纹标记形成莫尔条纹，所述入射光经所述图案标记后形成信号光，所述信号光携带所述莫尔条纹的信息，所述条纹光斑的条纹延伸方向与所述条纹标记的条纹延伸方向具有预设角度，所述预设角度为锐角；成像装置，用于收集所述信号光并根据收集的信号光形成检测图像。所述检测设备能够增加检测精度，提高可调节性。

本发明授权检测设备及其检测方法在权利要求书中公布了：1.一种检测设备，其特征在于，用于半导体器件的套刻测量，所述检测设备包括： 发光装置，用于产生照射待测物的入射光，所述待测物为半导体器件，所述待测物表面具有图案标记，所述待测物包括分别位于不同膜层的多个图案标记；所述多个图案标记中具有第一图案标记和第二图案标记；所述图案标记包括条纹标记，所述条纹标记包括同一方向重复排列的多个条纹，所述入射光用于在所述图案标记表面形成图案光斑，所述图案光斑包括条纹光斑，所述条纹光斑包括沿同一方向重复排列的多个条纹，所述条纹光斑用于与所述条纹标记形成莫尔条纹，所述入射光经所述图案标记后形成信号光，所述信号光携带所述莫尔条纹的信息，所述条纹光斑的条纹延伸方向与所述条纹标记的条纹延伸方向具有预设角度，所述预设角度为锐角； 成像装置，用于收集所述信号光并根据收集的信号光形成检测图像； 控制装置，用于控制所述发光装置和所述成像装置获取第一图案标记的第一检测图像和第二图案标记的第二检测图像； 处理模块包括：莫尔偏移获取单元，用于根据所述第一检测图像和第二检测图像获取所述第一图案标记的莫尔条纹与第二图案标记的莫尔条纹之间在检测方向上的莫尔偏移； 检测倍率获取单元，用于根据所述第一检测图像和第二检测图像中的一者或两者组合获取检测图像在检测方向上的检测倍率，所述检测倍率为莫尔条纹的特征参数与条纹标记的特征参数的比值，所述特征参数为空间频率或周期；对准误差获取单元，用于根据所述莫尔偏移与所述检测倍率获取所述第一图案标记与第二图案标记之间沿所述检测方向的对准误差。

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