安徽创谱仪器科技有限公司李朝阳获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽创谱仪器科技有限公司申请的专利一种晶体压合的处理装置及处理方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114975182B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210607504.4,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种晶体压合的处理装置及处理方法是由李朝阳;朱宁;耿继宝;邢立娜;武朝辉;方田设计研发完成,并于2022-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶体压合的处理装置及处理方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种晶体压合的处理装置,包括:上盖,设有进气口与排气口;导流板,固定在所述上盖内;气膜,设于所述上盖上,且位于所述导流板的一侧;壳体;压合平台,所述上盖、所述壳体以及所述压合平台之间依次可拆卸连接,且晶体与基底放置在所述压合平台上;以及紫外线光源,设于所述上盖或所述压合平台的一侧;其中,当向所述进气口鼓入气体时,所述气膜能够向外膨胀,并向晶体施加均匀的压力,当所述紫外线光源发射出紫外线光线时,所述紫外线光线能够对晶体与基底之间的紫外线固化胶水进行照射。通过本发明公开的一种晶体压合的处理装置,能够有效提升晶体的压合效果。
本发明授权一种晶体压合的处理装置及处理方法在权利要求书中公布了:1.一种晶体压合的处理装置,其特征在于,包括: 上盖,设有进气口与排气口; 导流板,固定在所述上盖内; 通孔结构,设于所述导流板的中心部分上; 环形导流槽,设于所述导流板上,且位于所述通孔结构的外侧; 气膜,设于所述上盖上,且位于所述导流板的一侧; 壳体; 压合平台,所述上盖、所述壳体以及所述压合平台之间依次可拆卸连接,且晶体与基底放置在所述压合平台上;以及紫外线光源,设于所述上盖或所述压合平台的一侧; 其中,所述进气口、所述排气口、所述通孔结构分别与所述环形导流槽连通;当向所述进气口鼓入气体时,所述气膜能够向外膨胀,并向晶体施加均匀的压力,当所述紫外线光源发射出紫外线光线时,所述紫外线光线能够对晶体与基底之间的紫外线固化胶水进行照射。
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