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龙图腾网获悉东莞市峰谷纳米科技有限公司申请的专利一种电路板生产方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115020191B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110247599.9，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权一种电路板生产方法是由高佳设计研发完成，并于2021-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种电路板生产方法在说明书摘要公布了：本发明是一种电路板生产方法，包括以下步骤：S1、将刻蚀电路板用晶圆表面进行粗清洗；S2、将粗清理后晶圆放置入真空腔中，对真空腔进行抽真空，真空腔中真空度范围为5pa‑2pa；S3、向真空腔内通入惰性气体，通入惰性气体速度范围为10‑5000sccm，对石墨电极进行通电，通电电压范围为200‑5000v；完成一次清洗；本发明中采用石墨电极作为靶源，对惰性气体与活性气体进行电离，解决了金属电极作为靶源对电路板表面清理造成损伤的问题，有效提升了电路板的表面达因值；采用惰性气体与活性气体同时对电路板表面进行清理，可使清理后电路板表面膜氧化率达到99.9%，对晶圆表面进行两次清理，确保晶圆的表面洁净度，提升了电路板的使用效果。

本发明授权一种电路板生产方法在权利要求书中公布了：1.一种电路板生产方法，其特征在于，包括以下步骤： S1、将电路板表面进行粗清洗，将电路板放入NMP溶液中进行脱胶以去除电路板表面上的胶质物体； S2、将粗清理后的电路板放置入真空腔中，对真空腔进行抽真空，真空腔中真空度范围为5pa‑2pa； S3、向真空腔内通入惰性气体，通入惰性气体速度范围为10‑5000sccm，向石墨电极通入恒温冷却水，高速旋转装有电路板的笼架，同时旋转圆柱靶材，磁场面向电路板将电源负高压连接到石墨电极上，对石墨电极进行通电，通电电压范围为200‑5000V； S4、向真空腔中通入活性气体，通入活性气体的速度范围为10‑5000sccm，清洗时长为0.5‑2h，完成一次清洗； S5、将一次清洗后的电路板放置入真空腔中，真空腔中设置有隔离板，隔离板将真空腔分为惰性气体室与活性气体室，对真空腔进行抽真空，真空腔中真空度范围为5pa‑2pa，其中在真空腔中设置有转动架，所述转动架带动电路板从惰性气体室转动至活性气体室； S6、向惰性气体室内通入惰性气体，通入惰性气体速度范围为10‑5000sccm，向活性气体室中通入活性气体，通入活性气体的速度范围为10‑5000sccm； S7、对惰性气体室中与活性气体室中石墨电极分别通电，通电电压范围为200‑5000V； S8、将电路板从惰性气体室转动到活性气体室中，转动速度范围为0.2‑0.6rmin，清洗时长为1.5‑2h，完成二次清洗； S9、在清洗后的电路板表面进行图案化和刻蚀，所述刻蚀步骤为使用树脂体系；采用与电路板的外形以及电路板上布线图形相匹配的模具；将上述树脂体系置于上述模具内；通过所述模具直接浇注或者模压成型电路板的外形以及电路板上布线图形；在所述布线图形上填充导电材料以形成电路板导电图形； 其中，步骤S3与所述步骤S6中惰性气体为氦、氖、氩、氪、氙、氡气体中的任意一种； 所述步骤S4与所述步骤S6中活性气体为氧气。

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