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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器有限公司申请的专利一种残余电荷释放方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115020311B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210595644.4，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种残余电荷释放方法是由晁洁方;刘小波;王想;苏炜;王智超;华强;胡冬冬;许开东设计研发完成，并于2022-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种残余电荷释放方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种残余电荷释放方法，包括：利用直流高压电源将晶圆吸附在基体上；将整个刻蚀工艺的总时间划分成两个时间段，前一个时间段保持直流高压电源为开启状态，后一个时间段保持直流高压电源为关闭状态，t＝t1+t2，t为整个刻蚀工艺的总时长，t1为前一个时间段的持续时长，t2为后一个时间段的持续时长；在后一个时间段，利用残余电荷吸附晶圆；其中，后一个时间段的氦气流量He2与前一个时间段的氦气流量He1相等。本发明可以缓解长时间开启高压吸附晶圆造成的残余电荷释放困难问题，可以大大缩减工艺结束后，晶圆脱附的时间，从而提高设备产能。

本发明授权一种残余电荷释放方法在权利要求书中公布了：1.一种残余电荷释放方法，其特征在于，所述残余电荷释放方法包括以下步骤： S1，利用直流高压电源将晶圆吸附在基体上； S2，将整个刻蚀工艺的总时间划分成两个时间段，前一个时间段保持直流高压电源为开启状态，后一个时间段保持直流高压电源为关闭状态或者逐渐减小直流高压电源的电压直至其转换为关闭状态，t＝t1+t2，t为整个刻蚀工艺的总时长，t1为前一个时间段的持续时长，t2为后一个时间段的持续时长；在后一个时间段，利用残余电荷吸附晶圆；其中，后一个时间段的氦气流量He2与前一个时间段的氦气流量He1相等； 所述后一个时间段的持续时长t2的获取方式包括以下步骤： S21，将一个刻蚀工艺总时间t平均划分成两个时间段，在初始阶段，t1＝t2； S22，对前一个时间段和后一个时间段的氦气流量进行测量，如果两个时间段的氦气流量不相等，则转入步骤S23，否则，转入步骤S24； S23，后一个时间段氦气流量较前一个时间段氦气流量大，前一个时间段增加一个步长，后一个时间段缩短一个步长；转入步骤S22； S24，输出t1和t2。

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