北京科益虹源光电技术有限公司陈刚获国家专利权
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龙图腾网获悉北京科益虹源光电技术有限公司申请的专利一种光路调试装置及准分子激光器光路调试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115377788B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110537933.4,技术领域涉及:H01S3/108;该发明授权一种光路调试装置及准分子激光器光路调试方法是由陈刚;李祖友;刘海东;张艳茹;詹绍通;刘广义;江锐设计研发完成,并于2021-05-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光路调试装置及准分子激光器光路调试方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种光路调试装置及准分子激光器光路调试方法,涉及准分子激光器光路调试技术领域,其中光路调试装置包括本体;以及本体上设置的第一反射镜、第二反射镜、双分划板式自准直望远镜系统和自聚焦摄像仪;激光器上的狭缝、耦合镜与第一反射镜、第二反射镜、双分划板式自准直望远镜系统、自聚焦摄像仪沿光路依次设置;自聚焦摄像仪与显示器连接,用于捕获和显示狭缝和耦合镜的成像位置。本发明的光路调试装置,结构简单,使用方便,可以快速精准调试激光器的光路。
本发明授权一种光路调试装置及准分子激光器光路调试方法在权利要求书中公布了:1.一种基于光路调试装置的准分子激光器光路调试方法,其特征在于,所述光路调试装置包括:本体1;以及本体1上设置的第一反射镜7、第二反射镜8、双分划板式自准直望远镜系统2和自聚焦摄像仪18; 激光器上的狭缝、耦合镜21与第一反射镜7、第二反射镜8、双分划板式自准直望远镜系统2、自聚焦摄像仪18沿光路依次设置;自聚焦摄像仪18与显示器3连接,用于捕获和显示狭缝和耦合镜21的成像位置; 激光器包括放电腔28两侧设置的第一狭缝26和第二狭缝22; 调试方法包括如下步骤: S10.将激光器放电腔28移开,避开激光器的第一狭缝26和第二狭缝22之间的光路; S20.调节所述第一反射镜7和第二反射镜8,使得第一狭缝26、第二狭缝22、第一反射镜7、第二反射镜8、双分划板式自准直望远镜系统2和自聚焦摄像仪18处于同一光路上; S30. 调节自聚焦摄像仪18上的调焦镜,使自准直望远镜系统2的十字指示线的像清晰呈现在显示器3的显示屏上; S40. 调节双分划板式自准直望远镜系统2的焦距,使显示器3上清晰呈现第二狭缝22的像,第二狭缝22的十字中心线的像清晰可见,调节第二反射镜8的俯仰角度和或左右摆转角度,使第二狭缝22的十字中心线的像与自准直望远镜系统2的十字指示线的像重合; S50. 调节双分划板式自准直望远镜系统2的焦距,使显示器3上清晰呈现第一狭缝26的像,第一狭缝26的十字中心线的像清晰可见,调节第一反射镜7的俯仰角度和或左右摆转角度,使第一狭缝26的十字中心线的像与自准直望远镜系统2的十字指示线的像重合; S60.重复步骤40和50,直至第一狭缝26的十字中心线的像、第二狭缝22的十字中心线的像与自准的直望远镜系统2的十字指示线的像三者重合; S70. 调节双分划板式自准直望远镜系统2的焦距,调整激光器耦合镜21的左右摆转角度和或俯仰角度,直到显示屏上出现双分划板式自准直望远镜系统2的同心圆环的像; S80.调整激光器耦合镜21的左右摆转角度和或俯仰角度,使显示屏上的同心圆环像的中心移动到与十字指示线的像的中心重合; S90.将放电腔28移至第一狭缝26和第二狭缝22之间,调整放电腔28,在显示屏上观察放电腔28位置,直至十字指示线的像的中心与放电腔28上电极29像和下电极30像之间的中心位置重合。
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