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龙图腾网获悉卡尔蔡司SMT有限责任公司申请的专利确定光学系统在被照明光照明时的成像质量的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115479753B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210608419.X，技术领域涉及：G01M11/02；该发明授权确定光学系统在被照明光照明时的成像质量的方法是由K.格沃希;M.科赫;L.斯托佩;M.德克;L.费希尔设计研发完成，并于2022-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本确定光学系统在被照明光照明时的成像质量的方法在说明书摘要公布了：为了确定光学系统13在被待测量的入射光瞳或出射光瞳11内的照明光1照明时的成像质量，测试结构5最初被布置在光学系统13的物平面4中，并且指定用于用照明光1照明测试结构5的照明角度分布。在测试结构5的不同距离位置zm处照明测试结构5。在光学系统13的像平面15中测量照明光1的强度Ix，y，zm。将这种方式测得的空间像与模拟空间像进行比较，调整用于描述模拟空间像的函数集的拟合参数，并且基于最小化差异的结果来确定光学系统13的波前。指定的照明角度分布对应于待测量的入射光瞳11内的子孔10i。对于另一指定的子孔，重复“指定”到“确定”的步骤。通过组合在待测量的入射光瞳11内针对测量子孔10i获得的结果来确定光学系统的波前。

本发明授权确定光学系统在被照明光照明时的成像质量的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于确定成像光学单元在被待测量的入射光瞳11；25和或待测量的出射光瞳内的照明光1照明时的成像质量的方法，包括以下步骤： 将测试结构5布置在所述成像光学单元的物平面4中，指定用所述照明光1照明所述测试结构5的照明角度分布，在所述测试结构5相对于所述物平面4的不同距离位置zm处，用指定的照明角度分布照明所述测试结构5，使用空间分辨检测装置14测量所述照明光1在所述成像光学单元的像平面15中的强度Ix，y，zm，以用于确定所述测试结构5的测量空间像，当在每个距离位置zm处对所述测试结构5成像时，所述照明光已被所述成像光学单元引导，将所述测量空间像与模拟空间像进行比较，并且调整用于描述所述模拟空间像的函数集的拟合参数，直到所述测量空间像和所述模拟空间像之间的差异已被最小化，基于所述测量空间像和所述模拟空间像之间的最小化差异的结果来确定所述成像光学单元的波前，所述指定的照明角度分布对应于所述待测量的光瞳11；25内的子孔10i，使用另一指定的子孔10i+1重复从“指定”到“确定”的步骤，所述另一指定的子孔10i+1相对于所述待测量的光瞳11；25内的已测量的子孔10i偏移，通过组合整个待测量的光瞳11；25上针对所述已测量的子孔10i获得的最小化差异的结果来确定所述成像光学单元的所述波前。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人卡尔蔡司SMT有限责任公司，其通讯地址为：德国上科亨；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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