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龙图腾网获悉深圳市博辉特科技有限公司申请的专利一种自动晶圆撕膜机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115636156B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211235422.8，技术领域涉及：B65B69/00；该发明授权一种自动晶圆撕膜机构是由孙勇;杨其生;贺东林设计研发完成，并于2022-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种自动晶圆撕膜机构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种自动晶圆撕膜机构，包括胶带供给模块和撕膜执行及工作台除尘模块；所述胶带供给模块包括第一安装座以及固定于第一安装座上的胶带供给轴、第一胶带卷绕轴、第一胶带夹紧轴、第二胶带卷绕轴、胶带远端卷绕轴、胶带张紧轴、第二摆臂轴、废胶带收集轴和第一摆臂轴。本发明提高产品生产效率、提升产品出货良率。

本发明授权一种自动晶圆撕膜机构在权利要求书中公布了：1.一种自动晶圆撕膜机构，其特征在于：包括胶带供给模块1和撕膜执行及工作台除尘模块2； 所述胶带供给模块1包括第一安装座以及固定于第一安装座上的胶带供给轴11、第一胶带卷绕轴12、第一胶带夹紧轴13、第二胶带卷绕轴14、胶带远端卷绕轴15、胶带张紧轴16、第二摆臂轴17、废胶带收集轴18和第一摆臂轴19； 所述胶带远端卷绕轴15、第二胶带卷绕轴14、第一胶带夹紧轴13和第一胶带卷绕轴12从左到右依次固定于安装座上方；所述胶带张紧轴16设置于胶带远端卷绕轴15和第二胶带卷绕轴14之间下方，胶带供给轴11设置于胶带张紧轴16一侧；所述第二摆臂轴17设置于胶带张紧轴16下方，第一摆臂轴19设置于胶带供给轴11下方；所述废胶带收集轴18接触设置与第二摆臂轴17下方一侧； 所述撕膜执行及工作台除尘模块2包括第二安装座以及固定于第二安装座上的第三摆臂轴21、压膜轴22、第三胶带卷绕轴23和晶圆压板24； 所述第三胶带卷绕轴23安装于第二安装座上方，晶圆压板24设置于第二安装座前端；压膜轴22设置于第三胶带卷绕轴23下方，且第三摆臂轴21设置于第三胶带卷绕轴23后方；撕膜平台26设置于晶圆压板24下方，并与压膜轴22平齐； 所述撕膜平台26上方安装有吸嘴接杆25； 胶带供给模块将胶带供给，将新胶带卷绕：胶带供给轴伸出胶带到第一摆臂轴，再到撕膜执行机构的第二摆臂轴，再到压膜轴，废胶带从撕膜机构的压膜轴伸出到第三胶带卷绕轴，废胶带传送到模块一的第一胶带卷绕轴，从第一胶带夹紧轴到第二胶带卷绕轴，再到胶带张紧轴，再传送到胶带远端卷绕轴，再到第二摆臂轴最后废胶带卷绕到废胶带卷绕轴； 当晶圆被机械手移载到撕膜平台时，吸嘴接杆由气缸往下拉，使晶圆和工作台接触，此时晶圆压板由气缸向下压合使晶圆和撕膜平台紧密贴合；压板抬起，与此同时胶带张紧轴由初始的下极限位置被气缸推动到最上端，使胶带松开，第一胶带夹紧轴也松开，接下来压膜轴从左侧位置运动到右侧，使胶带与晶圆膜贴合，第三摆臂轴由气缸推动，使胶带和压膜轴夹紧，压膜轴运动到最右端时，上方第一胶带夹紧轴夹紧，并由电机卷绕，压膜轴从最右端往回运动，将晶圆膜撕掉，最终卷绕到废胶带收集轴上。

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