东曹株式会社原浩之获国家专利权
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龙图腾网获悉东曹株式会社申请的专利Cr-Si-C系烧结体获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115667182B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180037179.6,技术领域涉及:C04B35/58;该发明授权Cr-Si-C系烧结体是由原浩之;召田雅实;增田彩花设计研发完成,并于2021-07-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本Cr-Si-C系烧结体在说明书摘要公布了:本发明的目的在于提供包含铬Cr、硅Si、碳C的高密度的Cr‑Si‑C系烧结体,进一步提供高密度的Cr‑Si‑C系烧结体、包含其的溅射靶及使用该溅射靶的膜的制造方法中的至少任一者。根据本发明,能够提供一种Cr‑Si‑C系烧结体,具有,其为包含铬Cr、硅Si、碳C的Cr‑Si‑C系烧结体,烧结体的相对密度为90%以上且孔隙率为13%以下的特征。
本发明授权Cr-Si-C系烧结体在权利要求书中公布了:1.一种Cr‑Si‑C系烧结体,其特征在于,其为包含铬Cr、硅Si、碳C的Cr‑Si‑C系烧结体,烧结体的相对密度为90%以上且孔隙率为13%以下,所述Cr‑Si‑C系烧结体包含CrSi和选自碳化铬、碳化硅和碳中的1种以上,CrSi在烧结体中所占的质量比例超过50wt%,烧结体中的碳的含量为1~20wt%。
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