买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置以及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115699260B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180036643.X，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权基板处理装置以及基板处理方法是由鳅场真树;尾辻正幸;樋口鲇美设计研发完成，并于2021-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置以及基板处理方法在说明书摘要公布了：基板处理装置100具备基板保持部120、处理液供给部160、输入信息取得部22a、升华干燥处理条件信息取得部22b以及控制部22。输入信息取得部22a取得输入信息，输入信息包含基板信息以及处理液信息中的至少一者的信息。升华干燥处理条件信息取得部22b基于输入信息从学习完毕模型取得针对处理对象基板的升华干燥处理条件信息，升华干燥处理条件信息显示升华干燥处理条件。控制部22基于在升华干燥处理条件信息取得部22b中所取得的升华干燥处理条件信息，控制基板保持部120以及处理液供给部160，以对处理对象基板予以升华干燥处理。

本发明授权基板处理装置以及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，具备： 基板保持部，能够旋转地保持设置有沟槽以及构造体的图案的处理对象基板； 处理液供给部，将包含升华性物质与溶剂的处理液供给至所述处理对象基板； 输入信息取得部，取得针对所述处理对象基板的输入信息，所述输入信息包含基板信息以及处理液信息中的至少一者的信息，所述基板信息显示所述沟槽以及构造体的属性或者形成条件，所述处理液信息显示所述处理液的属性； 升华干燥处理条件信息取得部，基于所述输入信息从学习完毕模型取得针对所述处理对象基板的升华干燥处理条件信息，所述升华干燥处理条件信息显示升华干燥处理条件； 以及控制部，基于在所述升华干燥处理条件信息取得部中取得的所述升华干燥处理条件信息，控制所述基板保持部以及所述处理液供给部，以对所述处理对象基板予以升华干燥处理； 所述学习完毕模型通过对学习用数据进行机器学习而构筑； 所述学习用数据是针对设置有沟槽以及构造体的图案的学习对象基板的学习用数据，其被赋予关联有： 基板信息以及处理液信息中的至少一者的信息，所述基板信息显示所述沟槽以及构造体的属性或者形成条件，所述处理液信息显示在将所述学习对象基板予以升华干燥处理时所使用的包含升华性物质与溶剂的处理液的属性； 升华干燥处理条件信息，显示将所述学习对象基板予以升华干燥处理的条件；以及处理结果信息，显示以所述处理液将所述学习对象基板予以升华干燥处理的结果。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都府；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。