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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利基板处理装置、记录有程序的计算机可读取记录介质及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115699261B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180040989.7，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权基板处理装置、记录有程序的计算机可读取记录介质及基板处理方法是由今井正芳;宫崎充设计研发完成，并于2021-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置、记录有程序的计算机可读取记录介质及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明关于一种处理基板的基板处理装置。基板处理装置1具备控制部90。控制部90使基板W以第一速度旋转后，使基板W以第二速度旋转。控制部90使基板W以第二速度旋转后，使基板以第三速度旋转，同时从干燥流体喷嘴30持续规定时间地供给干燥流体至基板W。控制部90继续供给来自干燥流体喷嘴30的干燥流体，而且使干燥流体喷嘴30从基板W的中心部朝向基板W的周缘部移动。

本发明授权基板处理装置、记录有程序的计算机可读取记录介质及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，对基板进行处理，其特征在于，具备： 基板保持部，该基板保持部保持所述基板并使所述基板旋转； 液体供给机构，该液体供给机构从液体喷嘴供给液体至所述基板上； 干燥流体供给机构，该干燥流体供给机构从干燥流体喷嘴供给干燥流体至所述基板上； 喷嘴移动机构，该喷嘴移动机构使所述液体喷嘴及所述干燥流体喷嘴移动；及控制部，该控制部控制所述基板保持部、所述液体供给机构及所述干燥流体供给机构的动作，所述控制部构成为： 对所述基板保持部发出指令，使所述基板以第一速度旋转，对所述液体供给机构发出指令，从位于所述基板的中心部上方的所述液体喷嘴使所述液体持续规定时间地供给至所述基板，使所述基板的整个面形成液膜，对所述液体供给机构发出指令，使所述液体的供给停止，使所述基板以所述第一速度旋转后，对所述基板保持部发出指令，使所述基板以第二速度旋转，使所述基板以所述第二速度旋转后，对所述基板保持部发出指令，使所述基板以第三速度旋转，同时对所述干燥流体供给机构发出指令，从位于所述基板的中心部上方的所述干燥流体喷嘴使干燥流体持续规定时间地供给至所述基板，其次，继续从所述干燥流体喷嘴供给所述干燥流体，同时对所述喷嘴移动机构发出指令，使所述干燥流体喷嘴从所述基板的中心部朝向所述基板的周缘部移动，所述第一速度包含：液膜形成速度，该液膜形成速度用于在所述基板上形成所述液体的膜；及薄膜形成速度，该薄膜形成速度用于将所述膜的中央部变薄，所述控制部构成为：使所述基板以所述液膜形成速度旋转后，对所述基板保持部发出指令，使所述基板以所述薄膜形成速度旋转，所述薄膜形成速度是比所述液膜形成速度快的速度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社荏原制作所，其通讯地址为：日本国东京都大田区羽田旭町11番1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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