隆基绿能科技股份有限公司蔡永安获国家专利权
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龙图腾网获悉隆基绿能科技股份有限公司申请的专利一种薄膜掩膜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115799047B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210997786.3，技术领域涉及：H01L21/027；该发明授权一种薄膜掩膜是由蔡永安设计研发完成，并于2022-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种薄膜掩膜在说明书摘要公布了：本发明提供了一种薄膜掩膜，包括：第一层及第二层；第一层与第二层叠层设置；第二层包括粘性膜；第一层在紫外光光源照射下、且厚度在200um以下的吸收率≥20％，其中，紫外光光源的波长为355±15nm；或，第一层在绿光光源照射下、且厚度在200um以下的吸收率≥20％，其中，绿光光源的波长为530±15nm；或，第一层在红外光光源照射下、且厚度在200um以下的吸收率≥20％，其中，红外光光源的波长为1045±20nm；第一层的可见光透过率≤90％。本发明提供的薄膜掩膜利用光学特性，与普通薄膜相比，光源的需求功率较低，能够节约成本。进一步的，通过低功耗的光源形成图案化内容，而且粘性膜的成本低廉，也不需要匹配复杂的工艺实现图案化处理，实现降本增效。
本发明授权一种薄膜掩膜在权利要求书中公布了：1.一种薄膜掩膜，其特征在于，所述薄膜掩膜用于太阳能电池的沉积工艺，所述薄膜掩膜包括：第一层及第二层；所述第一层与第二层叠层设置；所述第二层为粘性膜，所述第一层为高分子膜，所述第一层包括添加剂，以调整所述第一层的吸收特性；所述高分子膜材料为高分子聚合物，包括但不限于：聚对苯二甲酸乙二酯、聚烯烃薄膜、聚酰亚胺、聚氯乙烯、双向拉伸聚丙烯中的一种或多种； 所述第一层在紫外光光源照射下、且厚度在200um以下的吸收率≥20%，其中，所述紫外光光源的波长为355±15nm；或，所述第一层在绿光光源照射下、且厚度在200um以下的吸收率≥20%，其中，所述绿光光源的波长为530±15nm； 所述第一层的可见光透过率≤90%。
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