福建兆元光电有限公司邹声斌获国家专利权
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龙图腾网获悉福建兆元光电有限公司申请的专利一种降低LED芯片的工作电压的GaN基外延层生长方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115799407B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211524773.0,技术领域涉及:H10H20/01;该发明授权一种降低LED芯片的工作电压的GaN基外延层生长方法是由邹声斌;刘恒山;马昆旺设计研发完成,并于2022-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种降低LED芯片的工作电压的GaN基外延层生长方法在说明书摘要公布了:本发明涉及LED芯片技术领域,具体涉及一种降低LED芯片的工作电压的GaN基外延层生长方法;S2:设定反应腔温度1000‑1100度,压力250‑350mbar,通入氨气、氢气、300‑400sccm的TMGa2和100‑200sccm的二茂镁;持续6‑9分钟;使buffer层上形成掺杂U型GaN层;S3:设定反应腔压力250‑350mbar,温度1100‑1300度,通入氮气、氢气、氨气和TMGa2;持续4‑5分钟,使掺杂U型GaN层上形成不掺杂U型GaN层;本发明的有益效果在于:所述GaN基外延层相比于常规的LED芯片的外延层降低了0.2‑0.28V左右的工作电压;抗静电能力比常规LED结构增加了20%‑30%,亮度比常规LED结构提升5%‑15%。
本发明授权一种降低LED芯片的工作电压的GaN基外延层生长方法在权利要求书中公布了:1.一种降低LED芯片的工作电压的GaN基外延层生长方法,其特征在于,包括如下步骤: S1:将AlN衬底放入金属有机物化学气相沉积设备的反应腔;使衬底上生长出buffer层; S2:设定反应腔温度1000‑1100度,压力250‑350mbar,通入氨气、氢气、300‑400sccm的TMGa2和100‑200sccm的二茂镁;持续6‑9分钟;使buffer层上形成掺杂U型GaN层; S3:设定反应腔压力250‑350mbar,温度1100‑1300度,通入氮气、氢气、氨气和TMGa2;持续4‑5分钟,使掺杂U型GaN层上形成不掺杂U型GaN层; S4:在不掺杂U型GaN层上生长2‑3微米的N型GaN层; S5:在N型GaN层上生长量子阱层; S6:在量子阱层上生长P型GaN层; S7:完成GaN基外延层的生长。
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