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龙图腾网获悉中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所申请的专利基于波导耦合的HEMT太赫兹探测器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116046164B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310072221.9，技术领域涉及：G01J1/42；该发明授权基于波导耦合的HEMT太赫兹探测器是由尤柱;秦华;靳琳;孙建东;秦晨阳设计研发完成，并于2023-01-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于波导耦合的HEMT太赫兹探测器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于波导耦合的HEMT太赫兹探测器。所述HEMT太赫兹探测器包括：输入波导，与太赫兹信号检测单元连接，并用于收集太赫兹输入信号；阻抗匹配结构，与输入波导连接，并用于将输入波导中的电磁波调整至与太赫兹信号检测单元阻抗匹配后，再耦合入太赫兹信号检测单元；太赫兹信号检测单元，用于对接收到的太赫兹输入信号进行处理，并输出太赫兹响应信号。本发明提供的一种基于波导耦合的HEMT太赫兹探测器，将太赫兹混频器、太赫兹信号输入和输出部分集成于同一太赫兹探测器芯片上，实现了高增益、小型化的太赫兹探测器，进一步提升了探测器的灵敏度，并节约了成本。

本发明授权基于波导耦合的HEMT太赫兹探测器在权利要求书中公布了：1.一种基于波导耦合的HEMT太赫兹探测器，其特征在于，包括： 输入波导，与太赫兹信号检测单元连接，并用于收集太赫兹输入信号； 阻抗匹配结构，与输入波导连接，并用于将输入波导中的电磁波调整至与太赫兹信号检测单元阻抗匹配后，再耦合入太赫兹信号检测单元； 太赫兹信号检测单元，用于对接收到的太赫兹输入信号进行处理，并输出太赫兹响应信号，所述太赫兹信号检测单元包括基于HEMT结构的太赫兹混频器，所述太赫兹混频器包括半导体结构、第一欧姆接触结构、第二欧姆接触结构、第一电极、第二电极、第三电极、第四电极和第五电极；所述半导体结构中形成有载流子沟道，所述第一欧姆接触结构和第二欧姆接触结构沿选定方向间隔设置，且所述第一欧姆接触结构和第二欧姆接触结构还与所述载流子沟道电连接；所述第一电极设置在第一欧姆接触结构上且与所述第一欧姆接触结构电连接，所述第五电极设置在第二欧姆接触结构上且与所述第二欧姆接触结构电连接，所述第二电极、第三电极、第四电极沿所述选定方向依次间隔设置在所述第一欧姆接触结构和第二欧姆接触结构之间，并覆盖部分所述载流子沟道；其中，所述第一电极和第五电极中的一者作为源极，另一者作为漏极，所述第三电极作为栅极，所述第一电极、第三电极、第五电极与所述半导体结构配合形成第一高迁移率场效应晶体管，所述第一电极、第二电极、第五电极与所述半导体结构配合形成第二高迁移率场效应晶体管，所述第一电极、第四电极、第五电极与所述半导体结构配合形成第三高迁移率场效应晶体管，所述第一高迁移率场效应晶体管、第二高迁移率场效应晶体管以及第三高迁移率场效应晶体管串联。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，其通讯地址为：215123 江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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