由田新技股份有限公司江宏伟获国家专利权
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龙图腾网获悉由田新技股份有限公司申请的专利基板承载结构以及基板检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116072588B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211335310.X，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权基板承载结构以及基板检测装置是由江宏伟;赖宪平设计研发完成，并于2022-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板承载结构以及基板检测装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基板承载结构以及基板检测装置。基板承载结构用以承载基板，基板承载结构包括载台以及弹性支撑部件。载台具有承载面，其中容置槽形成于承载面上并围绕载台的中心。弹性支撑部件设置于容置槽内，且弹性支撑部件突出于承载面。基板接触弹性支撑部件，以形成密闭空间，并使弹性支撑部件产生变形并位于承载面之下。由此，本发明所提供的基板承载结构能改善基板翘曲的问题，以提高工艺的准确性与稳定性。
本发明授权基板承载结构以及基板检测装置在权利要求书中公布了：1.一种基板承载结构，其特征在于，用以承载基板，所述基板承载结构包括： 载台，所述载台具有承载面，其中至少一个容置槽形成于所述承载面上并围绕所述载台的中心；以及至少一个弹性支撑部件，至少一个所述弹性支撑部件设置于对应的至少一个所述容置槽内，且至少一个所述弹性支撑部件突出于所述承载面，至少一个所述弹性支撑部件包括： 定位元件，所述定位元件套设于所述容置槽内；以及弯折元件，所述弯折元件具有上支撑部与下支撑部，其中所述下支撑部连接于所述定位元件与所述上支撑部，而所述上支撑部用于支撑所述基板； 其中，所述基板接触至少一个所述弹性支撑部件，以形成至少一个密闭空间，并使至少一个所述弹性支撑部件产生变形并位于所述承载面之下； 其中，所述上支撑部的长度大于所述下支撑部的长度，且所述上支撑部更包括延伸部，当至少一个所述弹性支撑部件位于所述承载面之下时，所述上支撑部也会受到所述基板与所述下支撑部的压迫而产生弯折动作，而使所述上支撑部产生弯折的部分形成所述延伸部，用以增加支撑所述基板的区域。
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