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龙图腾网获悉株洲瑞德尔智能装备有限公司申请的专利一种全自动CVD尾气中和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116099344B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310130365.5，技术领域涉及：B01D53/78；该发明授权一种全自动CVD尾气中和装置是由李畅;李应新;吕亚洲;汪明月设计研发完成，并于2023-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种全自动CVD尾气中和装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种全自动CVD尾气中和装置，包括尾气中和循环系统、碱液热交换循环系统、至少两个碱液桶和控制装置，尾气中和循环系统和碱液热交换循环系统分别与控制装置电连接，每一碱液桶上均安装有一过滤装置；尾气中和循环系统包括泵架和水环泵组，水环泵组安装于泵架，水环泵组的输入端与CVD设备连通，水环泵组的输出端与过滤装置连通；碱液热交换循环系统包括磁力泵组和热交换器组，磁力泵组的输入端与碱液桶连接，磁力泵组的输出端与热交换器组的输入端连接，热交换器组的输出端与碱液桶连接。通过水环泵组的设置可以能够同时对多台CVD设备的尾气进行处理，且能够自动切换备用装置，可以不停机进行检修，提高了生产效率。

本发明授权一种全自动CVD尾气中和装置在权利要求书中公布了：1.一种全自动CVD尾气中和装置，其特征在于：包括尾气中和循环系统、碱液热交换循环系统、至少两个碱液桶和控制装置，尾气中和循环系统和碱液热交换循环系统分别与控制装置电连接，每一所述碱液桶上均安装有一过滤装置； 所述尾气中和循环系统包括泵架和水环泵组，所述水环泵组安装于所述泵架，所述水环泵组的输入端与CVD设备连通，所述水环泵组的输出端与所述过滤装置连通； 所述碱液热交换循环系统包括磁力泵组和热交换器组，所述磁力泵组的输入端与所述碱液桶连接，所述磁力泵组的输出端与所述热交换器组的输入端连接，所述热交换器组的输出端与所述碱液桶连接； 所述磁力泵组包括至少两个磁力泵和第三输送管道，多个所述磁力泵的输出端分别与所述热交换器组的输入端连通，所述第三输送管道的输入端设置有与所述碱液桶数量相对应的端口，所述第三输送管道通过该端口与碱液桶连接，所述第三输送管道的输出端也设置有与磁力泵数量相对应的端口，第三输送管道通过该端口与所述磁力泵连通，所述磁力泵的输入端设置有第三控制阀，所述第三控制阀和每一所述磁力泵分别与所述控制装置电连接； 所述热交换器组包括至少两热交换器和第四输送管道，所述第四输送管道的输入端与所述磁力泵组的输出端连通，所述第四输送管道的输出端设置有与热交换器数量相对应的端口，所述第四输送管道通过该端口与所述热交换器连通； 所述水环泵组包括第一输送管道和至少两个水环泵，每一水环泵的输入端分别与一CVD设备连通，每一所述水环泵的输出端分别与第一输送管道的输入端连通，所述第一输送管道设置有与所述过滤装置数量相对应的端口，所述第一输送管道的输出端通过该端口与所述过滤装置连接。

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