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上海现代先进超精密制造中心有限公司莫海亮获国家专利权

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龙图腾网获悉上海现代先进超精密制造中心有限公司申请的专利一种可实现线性渐变滤光片的镀膜方法及角度调节装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116103618B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310025230.2,技术领域涉及:C23C14/32;该发明授权一种可实现线性渐变滤光片的镀膜方法及角度调节装置是由莫海亮设计研发完成,并于2023-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。

一种可实现线性渐变滤光片的镀膜方法及角度调节装置在说明书摘要公布了:本发明提供了一种可实现线性渐变滤光片的镀膜方法及滤光片中间层的角度调节装置,镀膜方法包括以下操作步骤:S1.修正平面的均匀性;S2.建立数据库;S3.通过角度与斜率数据库匹配产品倾斜角度;S4.完成间隔层制备。本发明方法利用了蒸发镀膜机的均匀性原理,通过改变基片倾斜角度,达到改变基片法线与单点、蒸发源连线夹角变化的目的,使得基片上各点的夹角以及距离呈现线性变化,最终在基片倾斜方向现实膜厚的线性变化。

本发明授权一种可实现线性渐变滤光片的镀膜方法及角度调节装置在权利要求书中公布了:1.一种可实现线性渐变滤光片中间层的角度调节装置,包括位于腔体中一端的旋转机构1,其特征在于:所述旋转机构1的一端连接伞架2,伞架2远离旋转机构1的一端与角度调节装置6固定连接,位于腔体中另一端分别设置有对称布置的蒸发源4,两个蒸发源4之间设置有离子源5,伞架2与两个蒸发源4之间均设置有均匀性挡板3; 所述角度调节装置6包括固定链接件602,以角度调节装置6水平零度的样片安装平面为初始平面,将固定链接件602通过螺母与伞架2固定链接,通过均匀性挡板3修正该平面的均匀性,固定链接件602内设置有样片托盘601,样片托盘601内放置样片,样片托盘601的一端设置有螺母锁定接口604,样片托盘601的另一端设置有轴承603,固定链接件602上设置有滑道,螺母锁定接口604能沿着滑道运动; 所述滑道为弧形结构,轴承603位于弧形结构的圆心; 所述螺母锁定接口604与轴承603之间的距离,即样片旋转角度的半径R,半径R值决定了样片可装载大小,以及初始标准平面的高度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海现代先进超精密制造中心有限公司,其通讯地址为:201292 上海市浦东新区民风路396号4幢1层、3层301室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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