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龙图腾网获悉北京理工大学申请的专利一种微流量传感器的动态滞后补偿方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116225081B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310224825.0，技术领域涉及：G05D7/06；该发明授权一种微流量传感器的动态滞后补偿方法及系统是由王涛;王昱衡;王波设计研发完成，并于2023-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种微流量传感器的动态滞后补偿方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开的一种微流量传感器的动态滞后补偿方法及系统，属于微流量控制领域。本发明通过辨识流量传感器整体模型，结合理论分析去除干扰部分；构建流量传感器理想模型，采集实际输出数据；通过遗传算法辨识动态滞后补偿单元，进行流量传感器的滞后补偿；并通过相互校正算法，在实际流量传感器输出流量和滞后补偿输出间进行合理切换，既能提高流量输出的响应性能又能保证准确的流量输出。本发明适用于微流量控制领域、航空航天领域中的微推力器系统流量控制以及半导体领域中的微流控制，通过解决微流量传感器的大滞后问题，补偿其流量响应的动态滞后，提高微流量传感器的响应性能，提高工作效率。

本发明授权一种微流量传感器的动态滞后补偿方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种微流量传感器的动态滞后补偿方法，其特征在于：包括以下步骤，步骤1、通过流量控制阀产生正弦波形式的流量，并通过流量传感器进行测量，得到输入输出数据，通过梯度校正法辨识出含流量控制阀和流量传感器的整体模型； 式中，A1…Ai、B1…Bj为模型参数； 步骤2、结合对流量控制阀、流量传感器的理论模型分析从辨识的整体模型中去除流量控制阀模型和流量传感器的可预测滞后部分，得到满足给定性能要求的期望理想流量传感器模型，离散模型如下所示： 式中，a1、b1、b2为模型参数； 步骤3、构建由升程流量变化阶跃信号和回程流量变化阶跃信号组成的多组输入信号； 将多组输入信号分别作用于流量传感器和步骤2建立的期望理想流量传感器模型，分别得到实际的流量响应信号Qk和期望的标准响应信号Qck；实际的流量响应信号Qk将通过建立的动态滞后补偿单元Gcz‑1得到补偿后的信号Qbk；遗传算法的适应度函数Fk取补偿后的信号Qbk和标准响应信号Qck的差值绝对值，再通过遗传算法向适应度函数最小的优化方向去不断优化动态滞后补偿单元Gcz‑1中的参数，最终得到动态滞后补偿单元Gcz‑1使得补偿后的信号Qbk不断接近期望的标准响应信号Qck； Fk＝|Qck‑Qbk|      4式中，ac1、ac2、bc1、bc2为动态滞后补偿单元Gcz‑1的模型参数；Fk为适应度函数； 步骤4、步骤3中建立的动态滞后补偿单元Gcz‑1的模型参数初值将通过遗传算法的初始化种群步骤确定，根据辨识整体模型的参数来确定Gcz‑1参数的上下限[acmin,acmax]、[bcmin,bcmax]；并设置遗传算法的种群个数g、交叉概率pc、变异概率pb，适应度函数如公式4所示，三个终止条件分别为最大遗传代数为Dmax、最好的染色体连续n次不改变以及群体适应值的方差预设临近方差值qj； 步骤5、建立验证数据集，包含不限于正弦波信号流量，将实际的流量传感器输出Qk给动态滞后补偿单元得到补偿后的信号Qbk，与给定传感器动态性能响应需求比较，如满足需求则不需要进一步优化，即得到最终的动态滞后补偿单元；如不满足则扩大辨识数据集，重新修正动态滞后补偿单元直至其满足给定响应性能需求； 步骤6、通过相互校正算法，在实际流量传感器输出流量和滞后补偿输出间进行合理切换，提高微流量传感器的响应性能。

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