买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉同济大学申请的专利一种同步辐射等光束线站用反射镜的二维面形修正方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116305639B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310239709.6，技术领域涉及：G06F30/17；该发明授权一种同步辐射等光束线站用反射镜的二维面形修正方法是由黄秋实;王占山;黄瀚丹;蒋励;张众设计研发完成，并于2023-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种同步辐射等光束线站用反射镜的二维面形修正方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种同步辐射等光束线站用反射镜的二维面形修正方法，该方法包括以下步骤：步骤1：利用离子束一维修形设备根据待修正光学元件的二维面形特征设计多组一维复合修正路径；步骤2：在离子束一维修形设备与待修正光学元件的镜面之间安装多个具有设定尺寸的圆形通孔的掩模板，以在镜面宽度方向不同位置生成近高斯型的离子束斑；步骤3：基于离子束斑依次对不同宽度位置的面形进行一维修正，以达到高精度整体二维修正的效果。与现有技术相比，本发明具有能实现大尺寸长条形X射线反射镜二维面形修正以及大大降低设备成本等优点。

本发明授权一种同步辐射等光束线站用反射镜的二维面形修正方法在权利要求书中公布了：1.一种同步辐射等光束线站用反射镜的二维面形修正方法，其特征在于，该方法包括以下步骤： 步骤1：利用离子束一维修形设备根据待修正光学元件的二维面形特征设计多组一维复合修正路径； 步骤2：在离子束一维修形设备与待修正光学元件的镜面之间安装多个具有设定尺寸的圆形通孔402的掩模板403，以在镜面宽度方向不同位置生成近高斯型的离子束斑； 步骤3：基于离子束斑依次对不同宽度位置的面形进行一维修正，以达到高精度整体二维修正的效果； 所述的步骤1中，利用离子束一维修形设备根据目标二维面形特征设计多组一维复合修正路径的过程具体包括以下步骤： 步骤a：以镜面中心为原点建立坐标系，将镜面子午方向作为x方向，弧矢方向为y方向，目标修正区域大小为，其中，为镜面子午方向长度，为弧矢方向宽度，目标修正区域初始面形为，由圆形通孔402决定的近高斯型的离子束斑为，其对应的高斯参数为，峰值刻蚀速率为；步骤b：设定满足约束条件的一维修正组数，即掩模板403上圆形通孔402个数为，圆形通孔402的位置由待修正面形子午方向的中线向两侧展开，相邻两组一维修正位置在弧矢方向间距为，根据离子束二维表面修形理论公式得到目标修正区域初始面形为： ； 驻留时间由卷积迭代法得到： 其中，为组一维修正中驻留时间的集合，即，为单次子午方向一维修正的驻留时间向量，为初始驻留时间，为迭代参数，在0 ~ 1选取； 残余面形误差的计算公式为： 其中，为残余面形误差；步骤c：分析不同一维修正组数与间隔情况下的最优残余面形，选用使用最少组数且残余面形误差RMS值小于1 nm时的复合一维修正设计和驻留时间。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人同济大学，其通讯地址为：200092 上海市杨浦区四平路1239号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。