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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种金属复杂曲面超声热能辅助化学机械抛光装备与工艺方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116330141B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310199175.9，技术领域涉及：B24B31/033；该发明授权一种金属复杂曲面超声热能辅助化学机械抛光装备与工艺方法是由张振宇;刘振颂;崔祥祥;万省作;石春景设计研发完成，并于2023-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种金属复杂曲面超声热能辅助化学机械抛光装备与工艺方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种金属复杂曲面超声热能辅助化学机械抛光装备与工艺方法。由横梁、滑枕、X轴卧式导轨、抛光设备壳体、控制系统、抛光装置及热能辅助装置、超声辅助装置、主轴箱、Z轴立式导轨组成，横梁连接Z轴立式导轨及主轴箱；横梁的底端滑动连接在滑枕上。抛光设备壳体容纳抛光装置及热能辅助装置；控制系统控制抛光装置及热能辅助装置、超声辅助装置及主轴箱的状态；抛光装置进行工件的化学机械抛光过程；热能辅助装置改变化学机械抛光过程中的抛光温度；超声辅助装置实现主轴部分的超声振动；Z轴立式导轨连接主轴箱，实现主轴Z方向移动。本发明基于化学机械抛光原理及多能场耦合作用，待加工表面同时进行抛光处理，加工效率高，均匀性好。

本发明授权一种金属复杂曲面超声热能辅助化学机械抛光装备与工艺方法在权利要求书中公布了：1.一种金属复杂曲面超声热能辅助化学机械抛光装备，其特征在于，由横梁、滑枕、X轴卧式导轨、抛光设备壳体、控制系统、抛光装置及热能辅助装置、超声辅助装置、主轴箱、Z轴立式导轨组成，所述的横梁用于连接Z轴立式导轨及主轴箱，承受主轴加工过程中的作用力；所述横梁的底端滑动连接在所述滑枕上，滑枕用于带动横梁沿X轴卧式导轨做水平移动；X轴卧式导轨安装在抛光设备壳体上；抛光设备壳体用于容纳抛光装置及热能辅助装置；控制系统用于控制抛光装置及热能辅助装置、超声辅助装置及主轴箱的状态以达到预期抛光效果；抛光装置用于进行工件的化学机械抛光过程；热能辅助装置用于改变化学机械抛光过程中的抛光温度；超声辅助装置用于实现主轴部分的超声振动；Z轴立式导轨用于连接主轴箱，实现主轴Z方向的移动； 所述的抛光装置包括抛光转轴、传动部件、电机、抛光筒和支撑体外壳，其中抛光筒为翻边圆筒结构，为化学机械抛光工艺发生的容器，内部存储由磨粒、pH调节剂、氧化剂、络合剂及其他溶剂按一定比例和成分配制的抛光液， 抛光筒与支撑体外壳连接，并由限位导热隔板进行进一步的定位，防止抛光筒定位不准或者加工过程中的位置移动；抛光转轴与支撑体外壳连接，在传动部件的驱动下带动抛光筒的转动，使抛光筒转动至合适的位置，以便于后续化学机械抛光工艺的正常进行；传动部件由带轮及皮带组成，用于传递电机输入的转矩并驱动抛光转轴的旋转；电机用于为传动部件输送转矩； 所述的热能辅助装置包括限位导热隔板、红外线测温仪和加热装置，所述限位导热隔板为金属圆筒，其内径与抛光筒外壁公称尺寸相同，为间隙配合，用于限制抛光筒在抛光过程中的位置移动；隔板外壁连接加热装置，抛光过程中，通过金属隔板将加热装置输出的热量均匀传递在抛光筒外壁，以改变抛光筒内抛光液的温度；红外线测温仪放置于抛光筒下侧，用于实时监测抛光筒的温度信息，并将该信息传递至控制系统，控制系统根据预期温度对加热装置输出功率进行反馈调节，使抛光环境始终在预期温度附近； 所述的超声辅助装置包括超声波换能器、抛光压头和上压片，主轴箱内主轴转动带动抛光压头及零件绕Z轴的转动，超声装置连接于主轴箱末端，其中超声波换能器将输入的电功率转化为Z轴方向的超声机械振动，并将该振动经变幅杆传递在抛光压头及零件上，将超声振动辅助作用于零件的化学机械抛光过程；抛光压头直杆部分有螺纹，上压片旋紧与抛光压杆外凸部分共同作用夹紧金属曲面零件，实现零件的装夹； 所述抛光装置包含4个抛光筒，分别配置磨抛抛光液、粗抛抛光液、精抛抛光液、超精抛抛光液，实现零件的一次装夹多次抛光的功能。

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