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福建兆元光电有限公司马昆旺获国家专利权

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龙图腾网获悉福建兆元光电有限公司申请的专利一种GaN基Mini LED外延结构及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116581211B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310452672.5,技术领域涉及:H10H20/812;该发明授权一种GaN基Mini LED外延结构及制备方法是由马昆旺;唐乐星;邹声斌;贺卫群;刘恒山设计研发完成,并于2023-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。

一种GaN基Mini LED外延结构及制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体光电器件以及半导体显示制造领域,尤其涉及一种GaN基MiniLED外延结构及制备方法。该制备方法,生长有源区多量子阱层时,设定反应腔的温度为800~950℃、阱垒温差为100~150℃,交替生长势阱层和势垒层;生长所述势阱层时,反应腔的压力为100~190Tor、转速为300~500rmin、载气为H2;生长所述势垒层时,反应腔的压力为200~400Tor,转速为600~700rmin。该制备方法采用慢速长阱快速长垒的方法生长有源区多量子阱层,可有效缓解斯塔克效应,减少应力并提高了发光效率。

本发明授权一种GaN基Mini LED外延结构及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种GaN基Mini LED外延结构的制备方法,其特征在于,生长有源区多量子阱层时,设定反应腔的温度为800~950℃、阱垒温差为100~150℃,交替生长势阱层和势垒层; 生长所述势阱层时,反应腔的压力为100~190Torr、转速为300~500 rmin、载气为H2;生长所述势垒层时,反应腔的压力为200~400Torr, 转速为600~700 rmin; 所述势阱层为GaNInx1Ga1-x1NInx2Ga1-x2NGaN,厚度为5~10nm;所述势垒层为GaNAly1Ga1-y1N,厚度为5~15nm; 所述势阱层中Inx2Ga1-x2N的厚度为1~3.5nm; 所述有源区多量子阱层包括1~10组势阱层和势垒层组成的叠层; 所述势垒层采用Si掺杂GaN; x1含量和x2含量通过温度、压力和转速进行调整,通过量子阱分段生长结构和温度调整In含量的设计,能够降低阱垒失配,从而缓解斯塔克效应,减少位错,提升发光效率。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人福建兆元光电有限公司,其通讯地址为:350000 福建省福州市闽侯县南屿镇生物医药和机电产业园区;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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