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龙图腾网获悉苏州典艺精密机械有限公司申请的专利一种晶圆支撑环加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116587120B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310628161.4，技术领域涉及：B24B19/00；该发明授权一种晶圆支撑环加工方法是由杨军设计研发完成，并于2023-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆支撑环加工方法在说明书摘要公布了：本发明涉及的一种晶圆支撑环加工方法，S1、开粗处理；S2、去应力处理；S3、精加工处理；S4、抛光和检验。本发明一方面在支撑环正向反向定位中能够保持对应的加工区域完全处于暴露状态，实现一次加工成型，加工精度高，效率高；另一方面通过螺栓、定位座以及支撑环之间的配合实现支撑环的定位，支撑环受力小，结构稳定且不易变形，有效提高产品良品率。

本发明授权一种晶圆支撑环加工方法在权利要求书中公布了：1. 一种晶圆支撑环加工方法，支撑环包括同心且外径逐级变小的第一环体和第二环体，其特征在于：加工方法包括如下步骤： S1、开粗处理逐步加工圆环坯体的外圆、内孔以形成第一环体和第二环体的轮廓，并留有供变形的余量； S2、去应力处理将完成开粗的圆环坯体加热至360‑420℃，并保温3‑5H后空冷至35‑45℃，如此循环至少两次； S3、精加工处理a、在第一环体上加工绕着第二环体的外周分布的多个连接孔，并磨平第一环体的端面作为加工基准面； b、将圆环坯体正向放置在定位装置中的正向定位座上，其中第一环体上的加工基准面与正向定位座的顶面相贴合，并采用螺栓自下而上连接并将第一环体与正向定位座相固定，然后分别加工第一环体和第二环体上的外露面和内壁； c、将完成b步骤加工的圆环坯体反向放置在定位装置中的反向定位座上，其中以第二环体自周向和端面作为加工基准并定位在反向定位座上，第一环体支撑在反向定位座上，并采用螺栓自上而下连接并将第一环体与反向定位座相固定，然后加工第一环体上的外露面； 所采用的定位装置包括具有第一工位和第二工位的工作平台、分别设置在第一工位和第二工位上的正向定位单元和反向定位单元，其中正向定位单元包括具有多个第一通孔的正向定位座、多个正向连接螺栓，正向定位座与工作平台之间形成供手部操作的操作区，支撑环正向平放于正向定位座的顶部，多个正向连接螺栓自操作区向上对应连接每个连接孔和第一通孔；反向定位单元包括具有多个第二通孔的反向定位座、多个反向连接螺栓，其中反向定位座自顶面向下凹陷并形成与第二环体相匹配的定位槽，反向定位时，第二环体插在定位槽内并自周向与定位槽的内壁相贴合、自底部支撑在定位槽的槽底，第一环体支撑在反向定位座的顶部，且多个反向连接螺栓自上而下对应连接每个第二通孔和连接孔； S4、抛光和检验将完成精加工的支撑环的表面进行抛光处理，并进行尺寸检验。

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