福珞尔系统公司V·穆坤丹获国家专利权
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龙图腾网获悉福珞尔系统公司申请的专利可用于MEMS主动冷却装置中的经设计的促动器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116618277B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310660988.3，技术领域涉及：B06B1/06；该发明授权可用于MEMS主动冷却装置中的经设计的促动器是由V·穆坤丹;S·甘地;A·S·亚拉马蒂;S·R·马哈瓦佩迪;P·萨特亚默蒂设计研发完成，并于2020-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本可用于MEMS主动冷却装置中的经设计的促动器在说明书摘要公布了：描述一种可用于冷却系统中的促动器。促动器包括锚固区和悬臂。悬臂从锚固区向外延伸。悬臂包括台阶区、延伸区和外部区。台阶区从锚固区向外延伸且具有台阶厚度。延伸区从台阶区向外延伸且具有小于台阶厚度的延伸厚度。外部区从延伸区向外延伸且具有大于延伸厚度的外部厚度。
本发明授权可用于MEMS主动冷却装置中的经设计的促动器在权利要求书中公布了：1.一种促动器，包括： 锚固区；以及悬臂，所述悬臂从所述锚固区向外延伸，其中所述悬臂包括台阶区，所述台阶区从所述锚固区向外延伸，所述台阶区具有台阶厚度； 延伸区，所述延伸区从所述台阶区向外延伸，所述延伸区具有小于所述台阶厚度的延伸厚度；以及外部区，所述外部区从所述延伸区向外延伸，所述外部区具有大于所述延伸厚度的外部厚度； 其中，所述促动器驻留在包括室、孔板和支承结构的系统中，所述孔板在其中包括至少一个孔，所述促动器驻留在所述室中，且在所述锚固区处由所述支承结构支承，所述促动器将所述室分成顶部室和与所述顶部室流体连通的底部室，所述孔板形成所述底部室的壁，所述促动器构造成当被促动以将流体抽入所述顶部室中、引导该流体通过所述顶部室并进入所述底部室、以及通过所述至少一个孔将该流体驱离所述底部室时，进行所述悬臂的振动运动。
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