福建兆元光电有限公司马野获国家专利权
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龙图腾网获悉福建兆元光电有限公司申请的专利一种LED外延片的补长方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116885050B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310643073.1,技术领域涉及:H10H20/01;该发明授权一种LED外延片的补长方法是由马野;宋水燕;马昆旺;刘恒山设计研发完成,并于2023-06-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种LED外延片的补长方法在说明书摘要公布了:本发明涉及LED外延工艺技术领域,具体涉及一种LED外延片的补长方法。该补长方法,包括以下步骤:S1:将生长中断后的外延片放入反应腔,反应腔升温至750~850℃,同时通入100~140s的氮气,并通入MO源;S2:设定反应时间为5~8s,反应腔的压力为100~250Toor,温度为1050~1150℃,TMGa通量为800~1000sccm,SiH4通量为150~300sccm;S3:设定反应时间为10~16s,反应腔的压力为100~250Toor,温度为1050~1150℃,TMGa通量为800~1000sccm;S4:重复S2和S3的步骤7~10次,形成超薄n型GaN层;S5:进行多量子阱层以及多量子阱层后的外延结构生长。该补长方法通过在宕机位置所处的外延层生长一层超薄nGaN来重新建立n节基础,在该基础上进行后续外延各层的生长,回复外延层性能,提高外延片良率。
本发明授权一种LED外延片的补长方法在权利要求书中公布了:1.一种LED外延片的补长方法,其特征在于,包括以下步骤: S1:将生长中断后的外延片放入反应腔,反应腔升温至750~850℃,同时通入100~140s的氮气,并通入MO源; S2:设定反应时间为5~8s,反应腔的压力为100~250Torr,温度为1050~1150℃,TMGa通量为800~1000sccm,SiH4通量为150~300sccm; S3:设定反应时间为10~16s,反应腔的压力为100~250Torr,温度为1050~1150℃,TMGa通量为800~1000sccm; S4:重复S2和S3的步骤7~10次,形成超薄n型GaN层; S5:进行多量子阱层以及多量子阱层后的外延结构生长。
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